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簡(jiǎn)介：激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今*的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
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