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詳細說明

• 高精度觸針型CNC表面測量儀可以同時進行表面粗糙度和形狀/輪廓的測量。

• X1軸和Z2軸的驅動速度分別為40mm/s和200mm/s，可以高速定位，從而提高了多重輪廓/多工件測量的效率。

• X1 軸和Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺，從而可以實現高分辨力的輪廓/ 形狀測量、表面粗糙度的批量測量。

• Z1軸檢出器采用主動控制方式，減少Z1軸動態(tài)測力變化的同時擴展了測量范圍。

• Z1軸檢出器集成了防碰撞安全裝置，當儀器主體與工件或夾具發(fā)生碰撞時，檢測裝置可以自動停止工作。

• CS-5000CNC帶有a軸，可以通過電動旋轉X1軸連續(xù)測量水平面和傾斜面。

• 帶有Y軸工作臺的型號，可沿Y軸進行多工件定位，從而增加了多工件測量范圍。

• 可選的外部控制功能(外部I/O)，與PLC實現雙向通信(RS-232C)。

規(guī)格

貨號			CS-5000CNC	CS-H5000CNC
X1 軸	測量范圍		200mm
	分辨力		0.00625µm
	長度基準		激光全息測微計
	驅動速度	CNC型	40mm/s
		操縱桿	0 - 40mm/s
	測量速度		0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓)
	測量方向		向前/ 向后
	直線度	(使用標準測針)	(0.1+0.0015L)µm L: 驅動長度 (mm)	(0.05+0.0003L)µm L: 驅動長度 (mm)
		(使用二倍長型測針)	(0.2+0.0015L)µm L: 驅動長度 (mm)	(0.1+0.0015L)µm L: 驅動長度 (mm)
	精度 (20ºC)		±(0.3+0.002L)µm L: 驅動長度 (mm)	±(0.16+0.001L)µm L: 驅動長度 (mm)
Z1 軸 (檢出器)	測量范圍	(使用標準測針)	12mm	12µm
		(使用二倍長型測針)	24mm	24µm
	分辨力	(使用標準測針)	0.004 µm	0.001 µm
		(使用二倍長型測針)	0.008 µm	0.002 µm
	測針針尖垂直運動		弧形移動
	長度基準		激光全息測微計
	精度 (20ºC)		(20ºC) ±(0.3+\|0.02H\|)µm H: 測量高度 (mm)	±(0.07+\|0.02H\|)µm H: 測量高度 (mm)
	測力	(使用標準測針)	4mN (固定)
		(使用二倍長型測針)	0.75mN(固定)
	跟蹤角度		向上: 60º, 向下: 60º, (根據表面粗糙度)
	測針針尖形狀	標準測針	針尖角度: 40º, 針尖半徑: 5µm, 金剛石針尖
		標準球頭測針	球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 2倍測針
		2倍測針	針尖角度: 40º, 針尖半徑: 5µm, 金剛石針尖
		2倍測針	-	針尖角度: 60º, 針尖半徑: 2µm, 金剛石針尖 2倍球頭測針
		2倍球頭測針	球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石
	測針方向		向下
Z2 軸 (立柱)	行程范圍	Z2 軸 (立柱, S 型)	300mm
		Z2 軸 (立柱, H 型)	500mm-
	分辨力		0.05µm
	長度基準		反射型線性編碼器
	驅動速度	CNC型	200mm/s
		操縱桿	0 - 50mm/s
	基座尺寸 (W×D)		750×600mm
	基座材料		花崗巖