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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

上海眾毫工業(yè)科技有限公司


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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

聯(lián)系方式：寧經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-09-15 09:09:38瀏覽次數(shù)：193次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：9條

所在地區(qū)：上海上海

聯(lián)系人：寧經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

氣體質(zhì)量流量控制器ZHC09產(chǎn)品特性：*支持多種通訊協(xié)議*高精度、高穩(wěn)定性*可控制多種氣體*可選配控制設(shè)備同時(shí)控制多臺(tái)*可控制瞬時(shí)流量和累積流量*安裝容易操作簡(jiǎn)單方便維護(hù)應(yīng)用領(lǐng)域：*分析儀器*生物技術(shù)*真空鍍膜*氣相色譜*激光焊機(jī)*化學(xué)化工實(shí)驗(yàn)室安裝尺寸：技術(shù)參數(shù)：1流量規(guī)格（0^5、10、50、100、300、500）SCCM,（1、2、3、4、5）SLM2控制和顯示精度0

詳細(xì)介紹

氣體質(zhì)量流量控制器ZHC09

產(chǎn)品特性：

*支持多種通訊協(xié)議

*高精度、高穩(wěn)定性

*可控制多種氣體 

*可選配控制設(shè)備同時(shí)控制多臺(tái)

*可控制瞬時(shí)流量和累積流量

*安裝容易 操作簡(jiǎn)單 方便維護(hù)

應(yīng)用領(lǐng)域：

*分析儀器  *生物技術(shù) *真空鍍膜

*氣相色譜  *激光焊機(jī)  *化學(xué)化工實(shí)驗(yàn)室

安裝尺寸：

2.png       

技術(shù)參數(shù)：

1

流量規(guī)格

（0^5、10、50、100、300、500）SCCM , （1、2、3、4、5）SLM

2

控制和顯示精度

0.1sccm

3

準(zhǔn)確度

+ 0.5% F.S.

4

線性度

+ 1% F.S.

5

重復(fù)精度

+ 0.5% F.S.

6

響應(yīng)時(shí)間

< 1s

7

工作壓差

0--1MPa

8

耐壓

1.1MPa

9

環(huán)境溫度

0-70℃

10

電氣連接

Db9(公頭)

11

供電電源

15-40VDC

12

模擬量

DC 0-5V

13

數(shù)字量

RS485、RS232、RS422、CAN總線

14

氣路接頭

4mm、6mm、M8*1

15

氣路管徑

3mm、3.2mm、4mm、6mm

16

氣體種類

Air He   Ar  N2 O2  H2  NO  CO

CH4  CO2  NO2  N2O  NH3

電氣連接：


RS485

RS232

RS422

CAN總線

PIN 1

VCC

VCC

VCC

VCC

PIN 2

Set

Set

Set

Set

PIN 3

Moniter

Moniter

Moniter

Moniter

PIN 4

None

None

Z

None

PIN 5

GND

GND

GND

GND

PIN 6

None

None

Y

None

PIN 7

B

TX

B

CANH

PIN 8

A

RX

A

CANL

PIN 9

DGND

DGND

DGND

DGND

產(chǎn)品型號(hào)表示：

 

ZHC09-①-②-③

 

注：  ①=數(shù)字協(xié)議（RS485/RS232/RS422/CAN），

      ②=氣體類別（Ar/O2/H2/CO2/Air等）

③=流量量程

 

范例：ZHC09-RS485-Air-500



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