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閱讀:35發(fā)布時(shí)間:2026-6-1
傳感器觸針的端部越尖,越能真實(shí)地反映被測工件表面的微觀幾何形狀誤差,但觸針過尖,不但制造加工很困難,并且更易劃傷被測表面。觸針端部通常均制成圓弧形,此圓弧半徑越大,帶來的測量誤差越大。低精度輪廓儀觸針端部的圓弧半徑為5um或10um。高精度輪廓儀觸針端部的圓弧半徑為1um。

傳感器導(dǎo)頭的作用是,觸針在被測表面上移動的過程中,形成觸針感觸微觀幾何形狀誤差的基準(zhǔn)線,因而要求導(dǎo)頭曲率中心的運(yùn)動軌跡與被測表面的宏觀幾何形狀輪廓一致。只有當(dāng)輪廓曲線起伏間距小或?qū)ь^的圓弧半徑較大時(shí),才可以達(dá)到此項(xiàng)要求。
若導(dǎo)頭的圓弧半徑過小,則在測量中導(dǎo)頭將隨被測表面微小峰谷的起伏而上下運(yùn)動.致使導(dǎo)頭曲率中心的運(yùn)動軌跡與被測表面的宏觀輪廓不一致,造成觸針與導(dǎo)頭的相位誤差。影響測量精度。但導(dǎo)頭圓弧半徑過大,也會使被測表面的宏觀幾何形狀誤差反映到測量結(jié)果中,降低測量精度,因而通常要求導(dǎo)頭半徑為7~50mm。
為確切反映被測表面粗糙度,要求觸針與被測表面可靠地接觸。假如測力過小難以達(dá)到此目的,會帶來一定的測量誤差。但假如測力較大,則既易劃傷被測表面,也易使觸針端磨損。所以測力大小必須適當(dāng)二另一方面,測力大小的。
選擇還與觸針端部圓弧半徑大小相關(guān)。觸針圓弧半徑較大時(shí),選擇的測力可適當(dāng)大些;觸針圓弧半徑較小時(shí),選擇的測力必須相應(yīng)減小。通常對應(yīng)關(guān)系見表4.2.3。
表1觸針測力與圓弧半徑對應(yīng)關(guān)系

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