北京世紀(jì)科信科學(xué)儀器有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地北京市
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更新時間:2026-07-21 20:47:35瀏覽次數(shù):44次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)平板掃描式原子力顯微鏡FM-Nanoview LSCL-AFM
◆實現(xiàn)探針和樣品組合式移動掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡;
◆采用三軸獨立閉環(huán)壓電平移式掃描臺,實現(xiàn)大范圍高精度掃描;
◆ 三軸獨立式掃描,XYZ互不影響,非常適合三維材料及形貌檢測;
◆ 電動控制樣品移動臺和升降臺,可任意編程多點位置實現(xiàn)快速自動化檢測;
◆ 龍門架式掃描頭設(shè)計,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式載物臺;
◆ 馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品;
◆ 高倍輔助光學(xué)顯微定位,實時觀測與定位探針以及樣品掃描區(qū)域;
◆ 閉環(huán)壓電掃描臺無需非線性校正,納米表征和測量精度優(yōu)于99.5%。
| 工作模式 | 接觸模式、輕敲模式 | 樣品重量 | ≤0.5Kg |
| 選配模式 | 摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力 | Z升降臺 | 步進電機驅(qū)動控制,最小步長10nm |
| 力譜曲線 | F-Z力曲線、RMS-Z曲線 | Z升降行程 | 15mm(可選20mm,25mm) |
| XY掃描方式 | 樣品驅(qū)動式掃描,閉環(huán)壓電平移式掃描臺 | 光學(xué)定位 | 5X光學(xué)物鏡(可選10X/20X物鏡) |
| Z掃描方式 | 探針驅(qū)動式掃描 | 攝像頭 | 500萬像素數(shù)字CCD |
| XY掃描范圍 | 閉環(huán)100×100um | 掃描速率 | 0.6Hz~30Hz |
| Z掃描范圍 | 5um | 掃描角度 | 0~360° |
| 掃描分辨率 | 閉環(huán)XY向0.5nm,Z向0.05nm | 運行環(huán)境 | Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng) |
| XY樣品臺 | 步進電機驅(qū)動控制,移動精度1um | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
| XY移動行程 | 100×100mm(可選200×200mm,300×300mm) | 儀器結(jié)構(gòu) | 龍門架式掃描頭,大理石底座 |
| 樣品載物臺 | 直徑100mm(可選200mm,300mm) | 減震方式 | 彈簧懸掛式(可選主動式減震臺) |
應(yīng)用案例


藍(lán)寶石外延片/掃描范圍1µm×1µm/Sa=1.7nm,Sq=2.08nm


砷化鎵晶圓/掃描范圍0.9µm×0.9µm/Sa=2.15nm,Sq=2.69nm
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