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行業(yè)產(chǎn)品

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北京世紀(jì)科信科學(xué)儀器有限公司


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鏡面外觀缺陷檢測(cè)系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時(shí)間:2026-07-22 09:32:47瀏覽次數(shù):62次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:448條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:銷售

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

鏡面外觀缺陷檢測(cè)系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

晶圓、基片及精密光學(xué)元件表面缺陷自動(dòng)篩查和量測(cè)

檢測(cè)對(duì)象:

晶圓片、蓋板、基片、精密光學(xué)元件(平晶,棱鏡,玻片等)

面向行業(yè):

半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)、3C蓋板及光學(xué)基片、光學(xué)拋光加工

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù):

Ø 缺陷檢測(cè)口徑300X200mm (覆蓋8寸晶圓,可訂制12寸晶圓機(jī)臺(tái))

Ø 缺陷檢測(cè)分辨率0.5um

Ø 缺陷檢測(cè)類型: 麻點(diǎn)、劃痕、紋理、異色、破邊等

Ø 自動(dòng)缺陷識(shí)別及尺寸量測(cè)

Ø 手動(dòng)上下片,支持半自動(dòng)和自動(dòng)上下片的開發(fā)

Ø 技術(shù)特點(diǎn)

Ø 采用多模式成像確保各種不同類型的缺陷能夠被檢測(cè)

Ø 可以按照20/10、40/20、60/40標(biāo)準(zhǔn)對(duì)缺陷進(jìn)行量測(cè)判定

Ø 軟硬件可以按照實(shí)際樣品檢測(cè)需求進(jìn)行訂制

可附帶增加檢測(cè)基片三維翹曲功能

◆ 測(cè)量實(shí)例

麻點(diǎn)和劃痕.jpg

麻點(diǎn)和劃痕 表面紋理

關(guān)鍵詞:標(biāo)準(zhǔn)
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