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柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司

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潔凈厭氧高溫氣氛爐 C1-008

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產(chǎn)品簡介

潔凈厭氧高溫氣氛爐 C1-008

詳細(xì)介紹

用途：光刻工藝后段，光刻膠固化

特點(diǎn)
•工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級(jí)、氧濃度20ppm以下。
•程序運(yùn)轉(zhuǎn)功能，有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式。
•快速升溫、降溫，降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。
•配置了自動(dòng)門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計(jì)等。
•全不銹鋼材質(zhì)。
•在安全方面，配置了自動(dòng)過升防止、過升防止器、氮?dú)鈮毫Ξ惓！⒌獨(dú)饬髁慨惓?、過電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置。

技術(shù)規(guī)格

型號(hào)	潔凈厭氧高溫氣氛爐 C1-008
溫度范圍	室溫+30～360℃	室溫+50～500℃
溫度分布精度	±4.0℃（at 360℃）	±8.0℃（a500℃）
溫度上升時(shí)間	60min（室溫→360℃）	90min（室溫→500℃）
溫度下降時(shí)間	90min（360℃→50℃）	120min（500℃→50℃）
氧濃度	20ppm以下
氧濃度下降時(shí)間	約45分鐘
潔凈度	100級(jí)
裝備	氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等
內(nèi)尺寸	W600×D600×H600mm
電源	3相 AC380V

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