Simply the best AFM for automatic defect review and surface roughness measurement 對(duì)于媒介和基體領(lǐng)域的工程師而言,識(shí)別納米級(jí)缺陷是一個(gè)非常耗時(shí)的工作。Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)可借助數(shù)量級(jí)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)缺陷識(shí)別、掃描和分析,從而加快缺陷的檢查過程。Park NX-HDM可與眾多的光學(xué)檢查工具直接進(jìn)行連接,這就意味著自動(dòng)缺點(diǎn)檢查通量會(huì)大幅提高。此外,Park NX-HDM擁有精確的次埃米表面粗糙度測量功能。憑借著業(yè)內(nèi)的本底噪聲和獨(dú)特的True Non-Contact™技術(shù),Park NX-HDM毫無疑問是市面上表面粗糙度測量確的原子力顯微鏡。
Automatic Transfer and Alignment of Defect Maps to AFM 借助的映射算法,從自動(dòng)光學(xué)檢測(APO)工具中獲取的缺陷坐標(biāo)圖可準(zhǔn)確地傳入和映射至Park NX-HDM。該技術(shù)讓全自動(dòng)高通量缺陷成像成為可能。
Map of Defect Coordinates from an Optical Inspection Tool
Accurate AFM Scan by True Non-Contact™ Mode True Non-Contact™ Mode
探針磨損更低=高分辨率掃描更長久
無損式探針-樣品接觸=樣品變化程度最小
避免參數(shù)依賴
Tapping Imaging
探針磨損更快=掃描圖像模糊
破壞性探針-樣品接觸=樣品受損變化
高參數(shù)依賴性
Accurate AFM Topography with Low Noise Z Detector True Sample Topography™ without piezo creep error 形貌使用了低噪聲Z軸探測器信號(hào) 寬帶寬下0.02 nm的低Z軸探測器噪聲 Park NX AFM
前沿和后沿?zé)o過沖 只需出廠前進(jìn)行一次校準(zhǔn)
Conventional AFM
Automatic Measurement Control 自動(dòng)化軟件讓NX-HDM的操作不費(fèi)吹灰之力。測量程序針對(duì)懸臂調(diào)諧、掃描速率、增益和點(diǎn)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,為您提供多位置分析。自動(dòng)化軟件會(huì)按照測量文件中預(yù)設(shè)的程序進(jìn)行樣品測量。Park的用戶友好型軟件界面讓用戶可靈活執(zhí)行全系統(tǒng)功能。創(chuàng)建新測量文件只需要10分鐘左右的時(shí)間,而修改現(xiàn)有的測量文件則需要不到5分鐘的時(shí)間。
Park NX-HDM具有: 自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)模式 各自動(dòng)程序的可編輯測量方法 測量過程實(shí)時(shí)監(jiān)測 自動(dòng)分析所獲取的測量數(shù)據(jù)
Ionization System 離子化系統(tǒng)可有效地消除靜電電荷。由于系統(tǒng)隨時(shí)可生產(chǎn)和位置正離子和負(fù)離子之間的理想平衡,便可以穩(wěn)定地離子化帶電物體,且不會(huì)污染周邊區(qū)域。它也可以消除樣品處理過程中意外生成的靜電電荷。