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行業(yè)產(chǎn)品

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上海百賀儀器科技有限公司


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TESCAN掃描電鏡XEIA3

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產(chǎn)品型號XEIA3

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2026-07-21 14:28:17瀏覽次數(shù):51次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:1514條

所在地區(qū):上海上海

聯(lián)系人:銷售

產(chǎn)品簡介

TESCAN掃描電鏡XEIA3是一款獨(dú)特的集多種功能于一體的新型雙束聚焦(XE)掃描電子顯微鏡,它性能優(yōu)異,為用戶提供的整體解決方案.XEIA3不僅配有大功率的FIB以進(jìn)行超快速的微米或納米級切割,還具備出色的低能粒子束成像能力,同時(shí)亦可以進(jìn)行快速可靠地顯微分析以及樣品分析的3D重建.

詳細(xì)介紹

關(guān)鍵參數(shù)特征

  • 功能的SEM電子光學(xué)系統(tǒng),采用高亮度的Schottky發(fā)射器為電子源,具有束流大,噪點(diǎn)低,非凡的成像能力等特點(diǎn)
  • In-Beam探測器能夠確保在極小的工作距離下仍能收集信號,進(jìn)行高品質(zhì)成像
  • 采用Xe等離子體源的超快速FIB系統(tǒng)。 束流大,具有驚人的離子束切割速度,因此在切除大體積塊狀材料時(shí)卓有成效;
  • 同時(shí)較低的離子束流便于完成樣品表面拋光
  • 電子束減速技術(shù)(BDT)助力于進(jìn)行超低著陸電壓下的成像
  • 隔離材料的植入、摻雜或降解更少,這點(diǎn)對于半導(dǎo)體行業(yè)相當(dāng)重要
  • SEM與 FIB兩系統(tǒng)互補(bǔ),即使用FIB進(jìn)行樣品切割或沉積時(shí),可同時(shí)進(jìn)行SEM成像拍照
  • TESCAN電鏡的各種自動(dòng)化操作技術(shù),如In-Flight Beam TracingTM技術(shù)可通過計(jì)算精確的調(diào)節(jié)高分辨率成像所需的參數(shù)設(shè)置
  • (例如工作距離WD、放大倍率等)
  • DrawBeam 軟件模塊是一個(gè)便于進(jìn)行圖案設(shè)計(jì)的工具,3D功能亦很,使用它可在FIB切割或粒子束蝕刻等過程可實(shí)時(shí)獲取圖像
  • 為3D EDX及3D EBSD等三維顯微分析技術(shù)帶來全新的解決方案
  • 集成了飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS)與 掃描探針顯微技術(shù),可擴(kuò)展的大樣品室,使用戶能夠進(jìn)行6’’、8’’ and 12’’ 的晶片光刻檢驗(yàn),
  • 12’’ 晶片光刻檢驗(yàn)是TESCAN電鏡的技術(shù)能力
  • 氣體注入系統(tǒng) (GIS) 有助于使FIB完成更多應(yīng)用
  • 高性能的電子成像能力,其成像速率可高達(dá)20 ns/pxl, 同時(shí)具備出色的沉積速率及超快的掃描速度
  • 渦輪分子泵及前級泵的高效能有利于保持樣品室的清潔度;電子槍通過離子吸氣泵獲得真空

關(guān)鍵詞:二次離子質(zhì)譜

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