鉑瑞達(dá)（北京）科技有限公司
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閱讀：7發(fā)布時(shí)間：2026-6-18
綜述：
太陽(yáng)能電池又稱(chēng)為“太陽(yáng)能芯片"或“光電池"，是一種利用太陽(yáng)光直接發(fā)電的光電半導(dǎo)體薄片。它只要被滿(mǎn)足一定照度條件的光照到，瞬間就可輸出電壓及在有回路的情況下產(chǎn)生電流。在物理學(xué)上稱(chēng)為太陽(yáng)能光伏。太陽(yáng)能芯片的表面微觀(guān)形貌、原料和工藝對(duì)電池電性能影響很大，需要掃描電鏡進(jìn)行觀(guān)測(cè)，從而控制電池質(zhì)量。
儀器介紹：
EM科特掃描電鏡，根據(jù)樣品倉(cāng)大小或拓展分析附件能力，分為 CUBE系列掃描電鏡、GENESIS系列掃描電鏡、VERITAS系列掃描電鏡。
試驗(yàn)方法：
取不同工藝進(jìn)程的電池芯片直接放入掃描電鏡中觀(guān)察。快速觀(guān)察模式，照相時(shí)間 10s
結(jié)論：
EM科特掃描電鏡，可滿(mǎn)足硅太陽(yáng)能電池制造工藝控制檢測(cè)需要。采用CUBE臺(tái)式掃描電鏡或GENESIS系列掃描電鏡，需要切割芯片。使用VERITAS 系列掃描電鏡可觀(guān)察整塊芯片，無(wú)損檢測(cè)。
1、晶圓制絨結(jié)構(gòu)掃描電鏡圖像
2、晶圓表面Saw damage etching
3、鋁漿電極掃描電鏡圖像
4、銀漿電極掃描電鏡圖像
20000x
50000x
100000x 納米銀粉顆粒
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