真空壓力傳感器是能感受壓力信號，并能按照一定的規(guī)律將壓力信號轉(zhuǎn)換成可用的輸出的電信號的器件或裝置?？梢酝ㄟ^它們所能測量的壓強范圍，工作溫度以及壓強類型而進(jìn)行分類；其中重要的是壓強類型。
真空壓力傳感器的原理：
主要分為兩類：分別是半導(dǎo)體壓電阻型和靜電容量型，下面我們分別介紹一下它們的原理。
半導(dǎo)體壓電阻型：在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力，通過外力使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號。
靜電容量型：將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容，將通過外力使可動極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號。
真空壓力傳感器的用途：
由于結(jié)構(gòu)不同，可以分為測定壓力、對大氣的相對壓力和差壓。測定壓力時，傳感器內(nèi)自身帶有真空參考壓，所測壓力與大氣壓力無關(guān)，是相對于真空的壓力。對大氣的相對壓力是以大氣壓力為參考壓，因此傳感器彈性膜一側(cè)始終與大氣是連通的。由于大氣壓力與離地面的高度、四季中大氣中水汽含量的變化以及不同地點和組成大氣的各種氣體的含量的變化有關(guān)。因此，所測得的相對壓力便與上述因素有關(guān)。
此外，還可從傳感器彈性膜兩側(cè)分別導(dǎo)人流體壓力，這樣能測定流體不同地點或流體間的差壓。針對不同用途應(yīng)選用不同結(jié)構(gòu)的壓力傳感器。
