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閱讀：32發(fā)布時(shí)間：2026-7-30
擴(kuò)散硅傳感元件原理及特點(diǎn)
壓阻效應(yīng)原理
壓阻效應(yīng)本質(zhì)就是應(yīng)力的作用。 即在硅材料沿某一晶向施加一定的壓力時(shí),使它們之間的能帶形狀發(fā)生變化,引起單晶體電導(dǎo)率的改變。 其變化值與所加的應(yīng)力大小和方向有著一定的關(guān)系。 擴(kuò)散硅應(yīng)變?cè)?/span>就是利用壓阻效應(yīng)制成的。
擴(kuò)散硅壓阻傳感元件的特點(diǎn)
擴(kuò)散硅壓阻傳感元件與其他傳感元件相比具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,可微型化,輸出信號(hào)大,精度高,分辨率高,頻響高,低功耗,體積小,工作可靠等突出特點(diǎn)。
沃天較熱門(mén)硅壓阻式壓力芯體有哪些呢
PC10硅壓阻式壓力芯體
壓力類(lèi)型：表壓、絕壓、密封壓
量程范圍：-100kPa…0~10kPa…100MPa
輸入阻抗：2kΩ~5kΩ 恒流；
3kΩ~18kΩ 恒壓
零點(diǎn)輸出：±2mV
滿量程輸出：1.5mA?激勵(lì)≥40mV(≤35kPa),
60~150mV(其余量程)；
10V 激勵(lì)≥60mV(≤35kPa),
80~120mV(其余量程)
激勵(lì)：恒流1.5mA；恒壓10V
精度：0.25%F.S.(典型)
工作溫度：-40℃~125℃
補(bǔ)償溫度：恒流0℃~60℃(≤35kPa),-10℃~70℃(其余量程)；
恒壓-20℃~85℃
殼體和膜片材質(zhì)：不銹鋼316L
灌注液體：硅油
PC16硅壓阻式壓力芯體
壓力類(lèi)型：表壓、絕壓、密封壓
量程范圍：-100kPa~0~100kPa…25MPa
輸入阻抗：2kΩ~5kΩ恒流；3kΩ~18kΩ恒壓
零點(diǎn)輸出：±2mV
滿量程輸出：1.5mA激勵(lì)60~150mV；
10V激勵(lì)80~120mV
激勵(lì)：恒流1.5mA；恒壓10V
精度：0.25%F.S.(典型)
工作溫度：-40℃~125℃
補(bǔ)償溫度：恒流-10℃~70℃；
恒壓-20℃~85℃
殼體和膜片材質(zhì)：不銹鋼316L
灌注液體：硅油
PC9硅壓阻式壓力芯體
壓力類(lèi)型：表壓、絕壓、密封壓
量程范圍：-100kPa…0~10kPa…10MPa
輸入阻抗：2kΩ~5kΩ
零點(diǎn)輸出：±2mV
滿量程輸出：≥40mV(≤35kPa)；
≥60mV(其余量程)
激勵(lì)：1.5mA
精度：0.25%F.S.(典型)
工作溫度：-40℃~125℃
補(bǔ)償溫度：0℃~60℃(≤35kPa)；
-10℃~70℃(其余量程)
殼體和膜片材質(zhì)：不銹鋼316L
灌注液體：硅油
【參考文獻(xiàn)】
1 柳繼昌.儀器儀表與分析監(jiān)測(cè), 1986, 1: 7- 10
2 Petersank E. Silicon as A Mechanical Material. Proc IEEE, 1982: 70
3 唐敏,黃剛.傳感器世界, 1996, 7: 12- 16
4 李杰.傳感器世界, 1996, 7: 13
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