CYG513型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學(xué)研究中，風(fēng)洞中試驗(yàn)?zāi)Ｐ捅砻鎵毫龇植荚O(shè)計(jì)的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。它極薄的專用柔性引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測流場。

詳細(xì)介紹

CYG513的壓力敏感元件采用的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕及硅-玻璃陽極鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動態(tài)性能的同時(shí)具有較薄的厚度。綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.9mm，有利于獲得較薄最終尺寸的薄形傳感器。

CYG513為表壓測量模式，標(biāo)準(zhǔn)壓力量程為2、5、10、25、40、60、100、160、250、400、600、1000kpa

CYG513外形為薄圓扣式。最小直徑為ф10mm、厚度為4 mm，參考壓力既可在背面開口引出（513G），也可以在側(cè)面引線部用毛細(xì)管引處（513D），引出線為5線柔性電線，長度為1m，在1m終點(diǎn)處接有用PCB板制成的電橋補(bǔ)償平衡器，柔性電線的厚度為0.15 mm，寬度為4 mm。（也可用Φ2.5mm多芯屏蔽電纜出線）

CYG513由于用敏感元件反面承壓，因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性，也可用于水流動力學(xué)用途。它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)萬赫茲頻帶。

1、性能指標(biāo)參數(shù)

指標(biāo)/檔級	非線性精度 ±%FS	遲滯重復(fù)性 %FS	零位溫度系數(shù) ×10^-4FS /℃	靈敏度溫度系數(shù) ×10^-4FS /℃	零位時(shí)漂＜mv/8h
JA	0.5	0.1	5	5	0.2
JB	0.2	0.1	2	2	0.1