差壓變送器的基本原理是、將一個空間用敏感元件（多用膜盒）分割成兩個腔室，分別向兩個腔室引入壓力時，傳感器
在兩方壓力共同作用下產(chǎn)生位移（或位移的趨勢），這個位移量和兩個腔室壓力差（差壓）成正比，將這種位移轉(zhuǎn)換成可以反映差壓大小
的標準
信號輸出。實際構(gòu)造
中，敏感元件的結(jié)構(gòu)
，腔室的形式
，位移轉(zhuǎn)換的方式
，標準信號
的格式 都有很多種。
變送器主要有檢測部分和信號轉(zhuǎn)換及放大處理部分組成。檢測部分由檢測膜片和兩側(cè)固定弧形板組成,檢測膜片在壓差的作用下可軸向移動,形成可移動電容極板,并和固定弧形板組成兩個可變電容器C1和C2,檢測前,高、低壓室壓力平衡,P1 =P2;按結(jié)構(gòu)要求,組成兩可變電容的固定弧形極板和檢測膜片對稱,極間距相等,C1 =C2。當被測壓力P1和P2分別由導(dǎo)入管進入高、低壓室時,由于P1 >P2隔離膜片中心將發(fā)生位移,壓迫電解質(zhì)使高壓側(cè)容積變小。當電解質(zhì)為不可壓縮體時,其容積變化量將引起檢測膜片中心向低壓側(cè)位移,此位移量和隔離膜片中心位移量相等。根據(jù)電工學(xué),當組成電容的兩極板極間距發(fā)生變化時,其電容量也將發(fā)生變化,即從C1=C2變?yōu)镃1≠C2。由電氣原理圖可知,未發(fā)生位移時,I1=I2=0;ι1+ι2=ιc;發(fā)生位移后,由于相對極間距發(fā)生變化,各極板上的積聚電荷量也發(fā)生變化,形成電荷位移,此時反映出I1≠ I2,兩者之間將產(chǎn)生電流差,若檢測出其值大小以及和壓差的關(guān)系,即可求取流量。
電容式差壓變送器是20世紀80年代研制開發(fā)的新型差壓變送器,它利用單晶硅諧振傳感器,采用微電子表面加工技術(shù),除了保證±0.2%的測量精度外,還可實現(xiàn)抵制靜壓、溫飄對其影響。由于配備了低噪聲調(diào)制解調(diào)器和開放式通訊協(xié)議,目前的電容式差壓變送器可實現(xiàn)數(shù)字無損耗信號傳輸。
