上海爾迪儀器科技有限公司
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閱讀：6發(fā)布時間：2026-7-11
diener Parylene涂層系統(tǒng)P17產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品參數(shù)：
一、控制：
Windows PC人機交互操軟件，多種語言（含中文），用戶密碼登陸管理權(quán)限，工藝二維折線圖實時顯示，一鍵回復原廠設(shè)置，數(shù)據(jù)備份與還原功能，數(shù)據(jù)自動存儲和導入導出功能，可儲存100套工藝參數(shù)
二、原料：沉積Parylene N、C、F-VT4型
三、沉積厚度：0.05~30um
四、沉積室直徑300mm,深度300mm
五、轉(zhuǎn)盤直徑250mm,高度280mm，轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速0~99%可調(diào)節(jié)
六、集成硅烷蒸發(fā)模塊，壓力與溫度PID控制，實現(xiàn)Parylene涂層前硅烷沉積功能，可設(shè)定蒸發(fā)器預加熱溫度，到達設(shè)定加熱溫度后，開始硅烷蒸發(fā)程序，同時通過腔體壓力判斷檢測硅烷蒸發(fā)量
七、溫度控制系統(tǒng)：
1.裝料艙門溫度實時顯示設(shè)定范圍：室溫~200°C
2.蒸發(fā)器溫度實時顯示設(shè)定范圍：室溫~200°C
3.裂解艙溫度實時顯示設(shè)定溫度范圍：室溫~850°C
4.沉積室溫度實時顯示設(shè)定溫度范圍: 室溫~200°C
5.硅烷蒸發(fā)器及管道溫度設(shè)定范圍：室溫~200°C
八、真空系統(tǒng)：
1.沉積室真空壓力檢測
2.真空泵壓力檢測
3.配有慢速抽氣模塊，可以設(shè)定慢速抽真空的時間；
4.雙級油式旋片泵，排氣速度60m3/H，極限真空泵小于1*10-3mbar，噪音52bB(A),電源AC230V
九、多重報警與報警設(shè)定功能：
1.可設(shè)定蒸發(fā)器壓力偏差、門溫度偏差、裂解管溫度偏差、壓力傳感器溫度偏差、腔體溫度偏差、硅烷蒸發(fā)器溫度偏差、硅烷管路1溫度偏差值；
2.保養(yǎng)周期報警提示；
3.轉(zhuǎn)盤位置錯誤報警；
4．詳細的報警描述，方便判斷報警原因；
十、冷卻方式：
液氮和冷阱頭兩種方式
冷阱頭冷卻方式：風冷
冷阱頭溫度-100°C，冷頭尺寸：直徑50mm, 長度380mm
RS485通訊模塊，可以與主機通訊
冷阱尺寸：W600xD550xH1200mm
十一、尺寸與電源
外形尺寸：W1200xD700xH1100mm(不含真空泵與冷阱)
電源：AC380V 3P 32A
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