上海爾迪儀器科技有限公司
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閱讀：11發(fā)布時間：2026-7-14
CryoSAS 是一款低溫硅材料分析儀，可用于太陽 能和電子硅行業(yè)的超高靈敏度質量控制。它可以同時定量分析碳、氧以及淺層雜質（如硼、磷、砷等）。
根據ASTM/SEMI標 準，CryoSAS操作簡便，無需液氦等制冷劑。相比于傳統(tǒng)的濕 化學分析法，CryoSAS更為快速、靈敏，并且對樣品沒有任何 損害。
·對單晶硅中所含的第三、五族雜質（硼、磷、砷、鋁、鎵、銻） 的定量分析，檢出限達ppta量級。
·多晶或單晶硅中代位碳的定量分析，檢出限達ppba量級。
·多晶或單晶硅中間隙氧的定量分析，檢出限達ppba量級。
·全自動檢測流程，自動分析數據、自動生成檢測報告。
根據ASTM/SEMI MF1389標準，低溫近紅外光致發(fā)光（PL）實驗可以用于單晶硅中淺層雜質（如硼、磷等）的定量分析。
我們將高靈敏度VERTEX 80 傅立葉變換光譜儀和專為硅材料低溫光致發(fā)光實驗 設計的低溫恒溫器相結合，實現了低檢出限小于1ppta的超高檢出水平。
根據 ASTM/SEMI MF1389標準，定量分析單晶硅中的硼、磷和鋁含量。 用CVD方法制備的TCS（三氯硅烷）硅外延層也可進行PL實驗，以實現TCS的質量控制。
多種附加功能，如自動控制恒溫器制冷、專用的PL硅材料QC軟件、標準建模樣品和第二個激 發(fā)激光。
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