低溫等離子處理設(shè)備常應(yīng)用于惡臭氣體治理，具有處理效果好(幾乎可以處理目前常見的各種惡臭氣體)、運行費用低廉、無二次污染、運行穩(wěn)定操作管理簡便即開即用等優(yōu)點。該技術(shù)可廣泛應(yīng)用于石油化工、制藥、食品、污水處理廠、涂料、皮革加工、感光材料、汽車制造等諸多行業(yè)有機廢氣的治理以及采用其它方法很難解決的廢氣的治理。低溫等離子體產(chǎn)生方式主要有兩種放電方式，分別是電暈形式和戒指阻擋形式。根據(jù)處理廢氣的濃度和所含污染物的類型來選擇合適的放電方式。
隨著科技的進步，低溫等離子處理設(shè)備在現(xiàn)代工業(yè)上高速發(fā)展，選擇它原因也很簡單，它的操作簡單、工作效率高、低成本、環(huán)保且去膠后表面光潔。那么，設(shè)備在使用中有哪些因素要注意？
一、調(diào)整合適的頻率：頻率越高，氧越易電離構(gòu)成等離子體。頻率太高，以致電子振幅比其平均自由程還短，則電子與氣體分子磕碰概率反而減少，使電離率降低。
二、調(diào)整合適功率：關(guān)于必定量的氣體，功率大，等離子體中的的活性粒子密度也大，去膠速度也快；但當功率增大到必定值，反響所能耗費的活性離子到達飽滿，功率再大，去膠速度則無顯著添加。由于功率大，基片溫度高，所以應(yīng)根據(jù)技術(shù)需求調(diào)理功率。
三、調(diào)整適合的真空度：恰當?shù)恼婵斩龋墒闺娮舆\動的平均自由程變大，因而從電場取得的能量就大，有利電離。別的當氧氣流量必守時，真空度越高，則氧的相對份額就大，發(fā)生的活性粒子濃度也就大。但若真空度過高，活性粒子濃度反而會減小。
四、氧氣流量的調(diào)整：氧氣流量大，活性粒子密度大，去膠速率加速；但流量太大，則離子的復(fù)合概率增大，電子運動的平均自由程縮短，電離強度反而降低。若反響室壓力不變，流量增大，則被抽出的氣體量也添加，其間尚沒參與反響的活性粒子抽出量也隨之添加，因而流量添加對去膠速率的影響也就不甚顯著。
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