上海爾迪儀器科技有限公司
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閱讀：14發(fā)布時(shí)間：2026-7-18
在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點(diǎn):
①. 無油，無摩擦——真空腔內(nèi)無油，非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空;
②. 抽氣量大——雙渦旋盤，結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源;
③. 抽氣效率高——帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低;
④. 非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動(dòng)小;
⑤. 結(jié)構(gòu)簡單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動(dòng)半徑小，運(yùn)行平穩(wěn);
⑥. 體積小，維修方便，維護(hù)費(fèi)用低;
⑦. 采用空氣冷卻，無需水冷。
無油渦旋真空泵應(yīng)用在
①. 半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;
②. 科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器;
③. 機(jī)械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純?cè)O(shè)備;
④. 化學(xué)工業(yè);
⑤. 醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、、生物制品與藥品制備;
⑥. 包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。
無油渦旋真空泵主要由5個(gè)部件組成：
①. 動(dòng)靜渦旋盤付與基座;
②. 曲軸;
③. 密封墊;
④. 防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu);
⑤.電機(jī)。
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