上海爾迪儀器科技有限公司
上海爾迪儀器科技有限公司
閱讀：21發(fā)布時間：2026-7-19
目前各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應(yīng)用場合的影響，一般傳統(tǒng)的真空泵系統(tǒng)已無法滿足清潔無油、耐腐蝕、耐可凝性蒸汽以及能在惡劣的工況下運行的需要，因此近幾年來干式真空泵發(fā)展很快，真空獲得產(chǎn)品出現(xiàn)了更新?lián)Q代的局面。
干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
干式真空泵的優(yōu)點：
成本低：不耗油，無滴漏
穩(wěn)定性：干式真空泵的性能穩(wěn)定，噪音低，故障率低，因此減少維修成本。
適應(yīng)力強：工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況
應(yīng)用廣泛
干式機械真空泵的應(yīng)用范圍：
1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
干式真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點，得到越來越多制造和應(yīng)用單位的重視，日本堅山KASHIYAMA工業(yè)株式會社，多年來致力于真空技術(shù)的研究，不斷開發(fā)進取，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有的信譽。尤其在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，獲得了客戶的高度評價與信賴。
儀表網(wǎng) 設(shè)計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
請輸入你感興趣的產(chǎn)品
請簡單描述您的需求
號碼可能有誤,請核對！
請選擇省份