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上海浦量元精密機電有限公司


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新型LUPHOScan 75 HD三維非接觸微小鏡片自動測量系統(tǒng)

閱讀:31發(fā)布時間:2026-4-8

      泰勒·霍普森公司(TAYLOR HOBSON)在近期全新推出一款高速、精密的三維非接觸式微小鏡片自動測量系統(tǒng)LUPHOScan 75 HD,實現(xiàn)了非接觸3D形貌測量的全自動化,可在120秒內完成調整、測量和分析。

LUPHOScan 75 HD具有更短的完整測量周期,為大批量生產帶來實驗室級的精度。只需單擊一下即可獲得始終如一的準確結果。任何級別的操作員都可以獲得快速、高精度的測量結果。

 

·     自動對準光學工件

·     使用FPP(Focal Point Pivot)技術實現(xiàn)更短的測量周期

·     高重復精度:≤30 nm PV  

·     優(yōu)異的穩(wěn)定性: Power變化<±15 nm ,  PV變化<±1.5 nm  

·     幾何特征分析:如與光學表面相關的定位坎合面和邊緣直徑


#測量原理

在測量過程中,傳感器在整個被測物體的表面進行螺旋式掃描,并生成高密度的三維數據。

工件在氣浮旋轉平臺上旋轉,傳感器在移動軸上沿工件徑向理論曲線移動從而完成掃描。

旋轉平臺使傳感器與物體表面保持垂直,移動軸的布局提供了很高的靈活性,能從容應對非常規(guī)的表面形狀(包括陡峭的坡度或帶有拐點的輪廓)。

▲LUPHOScan掃描傳感器的運動


#自動調心調平

新型LUPHOScan 75 HD增加了全新的自動調心調平臺,讓儀器真正實現(xiàn)自動化。

·     消除對操作員技能的依賴

·     通過自動可重復的調心和調平實現(xiàn)測量一致性

·     以更短的設置時間提高產能

·     “一鍵"對準、測量和分析 


#快速而簡便的工件設置

只需單擊一下,自動調心和調平就可以:

·     評估工件的偏心和傾斜狀態(tài)

·     將工件傾斜調整至< 5′′ 

·     將工件中心降至1μm偏心度


#為未來做好準備

LUPHOScan 75 HD面向未來,可實現(xiàn)自動化集成:

·     腳本功能,便于人機對話

·     OP-UA兼容性

·     優(yōu)化流程,降本增效

                    

 

#使用FPP (Focal Point Pivot)技術縮短測量時間

測量周期時間*多可縮短65%,且無精度損失!

·     傳感器焦點與軸心點對齊

·     ΔZ和 ΔR小 傳感器旋轉大

·     ΔZ和 ΔR小 → 測量速度更快

▲大圓弧鏡設計有助于縮短測量周期時間

 


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