上海浦量元精密機電有限公司
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閱讀：33發(fā)布時間：2026-4-9
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__*快速的非球面自由曲面測量解決方案
ZYGO于2021年10月18日在美國羅徹斯特國際光學(xué)產(chǎn)品技術(shù)展 （SPIE Optifab）中，推出了其全新一代的Verifire Asphere+非球面激光干涉儀（簡稱VFA+），并展示了*新的計量技術(shù)方案。
*新的VFA+長這樣
VFA+建立在上一代Verfire Aphere非球面干涉儀成功的基礎(chǔ)之上，基于拼接技術(shù)，使用標(biāo)準(zhǔn)球面標(biāo)準(zhǔn)鏡及干涉儀主機，就可以快速、非接觸、高分辨率地測量出軸向?qū)ΨQ的非球面表面形貌。
VFA+具備非球面測試能力的同時，也是一個高精度曲率半徑測試平臺。其專業(yè)的設(shè)計，能非常有效地隔絕環(huán)境震動和氣流擾動的影響，使其光學(xué)器件曲率半徑的測試重復(fù)性達到百納米的級別。
VAF+能覆蓋一臺高精度和穩(wěn)定的立式球面/平面激光干涉儀，基于其六個維度（X平移、Y平移、傾斜、俯仰、高低、旋轉(zhuǎn)）全自動調(diào)整的樣品臺，用戶可以自主完成全自動化的測試腳本程序。
除了擁有以上這些上一代Verfire Aphere已有的特點和優(yōu)勢之外，新的VFA+更新了*的Mx軟件（??點擊“Mx軟件"了解更多詳情），采用了更穩(wěn)定可靠的測量倉設(shè)計，更重要的是：
VAF+可以高速批量檢測，包括自由曲面在內(nèi)的非球面光學(xué)器件。
VFA+圖示??
ZYGO的VFA+集成了一個可選的工作臺，用于放置轉(zhuǎn)換波前的全息板 (CGH)（??點擊“全息板（CGH）"了解更多詳情）?；贑GH，VFA+可以測試包括自由曲面在內(nèi)的各類非球面，包括樣品校準(zhǔn)在內(nèi)的測樣過程，單次在十幾秒內(nèi)，就可以測得非球面3D相貌（百萬像素級數(shù)據(jù)密度），可以適用于各類自由曲面、圓柱及離軸圓錐曲面。
這一全新的技術(shù)方案，將打開大規(guī)模批量柔性光學(xué)制造技術(shù)的大門。從此，非球面光學(xué)加工質(zhì)量控制將變得更容易執(zhí)行，且更具有成本效益。
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