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大樣品臺(tái) 白光輪廓儀 Nexview™ LS650

閱讀:33發(fā)布時(shí)間:2026-4-10

 Nexview™LS650 大樣品臺(tái)白光干涉儀非常適合測(cè)量 尺寸大,重量大 的樣品,例如注塑透鏡的模具、大尺寸線路板、光學(xué)器件,以及機(jī)械零件等等。

LS650樣品臺(tái)尺寸及平移范圍,可達(dá) 650mm*650mm , 可以在這一范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)拼接及腳本編程自動(dòng)測(cè)量,具有亞納米級(jí)垂直分辨率。

 各種白光輪廓儀表面紋理測(cè)試,常常需要量測(cè)尺寸大,重量大的樣品,例如:

 

·             大尺寸的電子線路板;

·             注塑透鏡的模具(如上圖);

·             高能激光應(yīng)用中,大尺寸超光滑光學(xué)器件;

·             需要測(cè)試關(guān)鍵面的大尺寸機(jī)械零件;

·             有時(shí)被測(cè)樣品需要特殊夾持機(jī)構(gòu),需要占用的空間大,負(fù)重要求高,也需要高負(fù)重,大尺寸樣品臺(tái)的解決方案。

 Nexview™LS650 系統(tǒng)基于ZYGO Nexview™NX2 測(cè)試頭,繼承了其高精度,高分辨率,良好環(huán)境適應(yīng)性的優(yōu)點(diǎn)。

LS650縱向分辨率優(yōu)于0.1nm 埃級(jí)別,可以用于超光滑表面測(cè)量;LS650同樣也具有抗振掃描 SureScan™技術(shù),可以良好適應(yīng)生產(chǎn)環(huán)境的振動(dòng)影響。

Nexview™LS650 采用龍門(mén)結(jié)構(gòu),配置650mm*650mm平移范圍的自動(dòng)樣品臺(tái);*大負(fù)重可達(dá)100KG,能良好適應(yīng)大樣品及附屬夾具的尺寸,空間,和重量要求。

 


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