上海浦量元精密機電有限公司
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閱讀：135發(fā)布時間：2026-4-11
ZYGO 3D 白光干涉輪廓儀，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌。白光輪廓儀廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機械等等領(lǐng)域，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析。
ZYGO 有三個型號標(biāo)準(zhǔn)白光干涉輪廓儀，Zegage，NewView，Nexview，它們設(shè)計理念各有不同，配合各類附件，能良好滿足各種場景，各類環(huán)境下的不同應(yīng)用需求。
ZYGO 白光輪廓儀的共有特點和優(yōu)勢：
· ZYGO SureScan™大幅減小了環(huán)境振動的影響；還可以降低高精度量測時的噪聲，提高超光滑表面的測試精度。
· ZYGO SmartSetup™，自動對焦樣品表面，自動智能配置測試參數(shù)，使原來麻煩的“找條紋"，“選擇測試參數(shù)"過程，在一分鐘之內(nèi)，自動完成
· ZYGO全系列白光輪廓儀，都包括自動防撞功能，"心細如發(fā)“，“一觸即止"，能*大程度保護樣品和設(shè)備的安全。
基于以上ZYGO共有的功能，每一款白光輪廓儀又有什么自己的特點呢？今日小Z就和各位親聊聊：
如何選擇ZYGO白光輪廓儀
ZeGage™系列
1.6K*1.2K像素，1X光學(xué)縮放，
SureScan™采樣；
可選手動調(diào)整，或3軸（Z，XY平移）自動調(diào)整樣品臺；
表面形貌重復(fù)性(STR);
ZeGage™Pro 3.5nm
ZeGage™Pro HR 0.15nm
ZeGage™桌面型光學(xué)輪廓儀,結(jié)構(gòu)緊湊，穩(wěn)定可靠。它采用一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計，配合ZYGO SureScan™抗振采樣模式，可以無需氣浮抗振臺，直接置于桌面，在生產(chǎn)環(huán)境中量測。
· ZeGage™ 系列有兩種型號，都具有較高性價比。ZeGage™Pro表面形貌重復(fù)性(STR)3.5nm，適用于精密機械，材料學(xué)，摩擦磨損等納米級測量；ZeGage™Pro HR表面形貌重復(fù)性(STR) 0.15nm，可以量測亞納米級超光滑表面。
· ZeGage™可選增高架構(gòu)，用于測量更大尺寸的樣品；還可以選用3軸（Z，Tip/Tilt傾斜俯仰）自動調(diào)整樣品臺，具有拼接測量及一定編程自動化測量的能力。
Newview™9000
1.6K*1.2K，0.5X,1X, 2X 目鏡；
CSI, SureScan™, SmartPSI采樣；
可選手動調(diào)整，或5軸（Z，XY平移，Tip/Tilt傾斜俯仰）自動調(diào)整樣品臺；
手動孔徑光闌，及視場光闌；
Newview 表面形貌重復(fù)性(STR) 0.08nm
Newview™9000是ZYGO應(yīng)用*廣的高性能光學(xué)輪廓儀，配合豐富的配置及附件，滿足多樣化應(yīng)用需求。
· Newview™9000150um范圍使用壓電陶瓷閉環(huán)掃描，表面形貌重復(fù)性(STR) 0.08nm，可以滿足苛刻的超光滑表面測試需要。
· Newview™9000光學(xué)系統(tǒng)包括孔徑光闌，及視場光闌；可優(yōu)化光學(xué)成像質(zhì)量，適用于不同樣品表面紋理和微結(jié)構(gòu)。
· Newview™9000采用分立龍門架構(gòu)，可以通過標(biāo)準(zhǔn)墊塊附件，抬高測試頭，來測試超大超高樣品。
· Newview™9000可選5維全自動樣品臺，配合ZYGO腳本編程工具，自主開發(fā)工業(yè)自動化測試流程。
Nexview™ NX2
1.6K*1.2K，0.5X,1X, 2X目鏡；
CSI, SureScan™, SmartPSI采樣；
標(biāo)配5軸（Z，XY平移，Tip/Tilt傾斜俯仰）自動調(diào)整樣品臺；
全自動孔徑光闌，及視場光闌調(diào)整；
Nexview™ NX2 表面形貌重復(fù)性(STR) 0.06nm
Ture Color樣品表面彩色3D形貌測量
Nexview™ NX2是ZYGO光學(xué)輪廓儀系列中，測試精度*高，功能*全，整機自動化的型號；NX2專為*挑戰(zhàn)應(yīng)用設(shè)計制造。
· Nexview™ NX2 150um范圍使用壓電陶瓷閉環(huán)掃面，表面形貌重復(fù)性(STR) 0.06nm，是ZYGO光學(xué)性能，噪聲系數(shù)*優(yōu)的型號，可以滿足*苛刻的埃級超光滑表面測試需要。
· Nexview™ NX2覆蓋了其它ZYGO白光輪廓儀的所有功能；此外還TureColor樣品表面彩色3D形貌測量能力。
· Nexview™ NX2同樣采用分立龍門架構(gòu)，可以通過標(biāo)準(zhǔn)墊塊附件，抬高測試頭來測試超高樣品。
· Nexview™ NX2實現(xiàn)了整機自動化，從塔臺，樣品臺，到光學(xué)系統(tǒng)光闌控制，全部軟件可編程；配合ZYGO腳本編程工具，Nexview™ NX2可以實現(xiàn)自動化測試。
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