上海春長自動化設(shè)備有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號M3030
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地
聯(lián)系方式：范寅燁查看聯(lián)系方式
更新時間：2018-05-15 15:17:21瀏覽次數(shù)：709次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)氣體質(zhì)量流量控制器( Mass Flow Controller 簡稱MFC )能夠在較大的量程范圍內(nèi)對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。控制范圍：10sccm ～ 30slpm 范
1. 用途及特點
氣體質(zhì)量流量控制器( Mass Flow Controller 簡稱MFC )能夠在較大的量程
范圍內(nèi)對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。
氣體質(zhì)量流量計( Mass Flow Meter 簡稱MFM )能夠在較大的量程范圍內(nèi)
對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。
它們在石化工業(yè)、半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、醫(yī)藥、環(huán)保和
真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場合包括：電子工藝
設(shè)備，如、氧化、CVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。
Line-Tech Ltd.致力于對產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進。對M 系列氣
體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計（MFM）進行了全新的技術(shù)改造，
在功能和性能上有了進一步的提高。
M 系列氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計具有精度高、響應(yīng)速度快、重
復性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下
工作)，其操作使用方便，可任意位置安裝調(diào)試，并更好的與計算機連接實現(xiàn)自
動控制。
M3030V 和M
1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）
sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）
slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）
項 目 M3030V型 M
1 流量規(guī)格（N2）: 10sccm ～ 30slpm
（本公司可以為客戶在10sccm ～ 30slpm范圍內(nèi)任何區(qū)域標定）
2 準確度 :±1% F.S （Full Scale）
3 重復精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）
4 響應(yīng)時間 :≤3sec ( 特別要求：:≤1sec )
5 耐壓 :zui高 95 bar
6 工作環(huán)境溫度 :
7 輸入輸出信號: 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA
8 電源 :±15Vdc, 350mA
9 外形尺寸
總長：依進氣口、出氣口接頭規(guī)格而定
寬：
氣路接頭形式
可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型：
a.. 1/8＂ Compress
b. 1/4＂ Compress
c. 3/8＂ Compress
d. 1/4＂ VCR
e. 1/4＂ VCO
范
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