浙江納德科學(xué)儀器有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號S150RTL-1
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地杭州市
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更新時間：2026-08-08 09:11:33瀏覽次數(shù)：52次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)COWAQS150RTL-1自動真空磁控離子濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):1.尺寸:DW410mmx390mmx410mmH重量:20KG2.樣品腔室:150mm(D)×65mm(H)3.選擇靶:57mm(D)x0.1/0.2mm(厚度)(標(biāo)配靶:金)4.旋轉(zhuǎn)-傾斜樣品臺:直徑86mm
COWAQ S150RTL-1自動真空磁控離子濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
1.尺寸:D W 410 mm x 390 mm x 410 mm H重量:20KG
2.樣品腔室:150mm(D)×65mm(H)
3.選擇靶:57mm(D)x 0.1/0.2mm(厚度)(標(biāo)配靶:金)
4.旋轉(zhuǎn)-傾斜樣品臺: 直徑86mm，靶與樣品表面濺射距離：40mm
5.真空度:1 x10-2 mbar-1 atm
6.濺射電流:10、20、30、40 mA可調(diào)
7.沉積速率:0-25nm /min
8.時間設(shè)定:0 - 300s可調(diào)
9.預(yù)設(shè)氬氣針閥，樣品室沖洗
10.真空泵:旋片真空泵
11.真空測量:皮拉尼真空計
12.厚度測量:可選
13.氬氣純度:99.99%, 壓力設(shè)定:0.5/0.6bar, 6.0mm 真空管輸入
14.電源:230 /50HZ
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