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詳細(xì)摘要: MEMS是微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical System)的簡稱,該系統(tǒng)集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控...
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