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行業(yè)產(chǎn)品

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上海亨東儀器有限公司


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HORIBA STEC 微小液體質(zhì)量流量計LF-F 質(zhì)量流量控制器LV-F

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更新時間：2025-04-01 12:27:39瀏覽次數(shù)：1315次

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產(chǎn)品簡介

HORIBA STEC 微小液體質(zhì)量流量計LF-F 質(zhì)量流量控制器LV-F,具備冷卻測試方式的液體質(zhì)量流量計，可精確檢測低沸點和高粘度液體的流量，儀器內(nèi)部進(jìn)行超潔凈處理并符合 RoHaS 環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)

詳細(xì)介紹

微小液體質(zhì)量流量計LF-F
微小液體質(zhì)量流量控制器LV-F
提供超低微小流量檢測
提供超低微小流量控制
可精準(zhǔn)檢測低沸點和高粘度液液體
可精準(zhǔn)控制低沸點和高粘度液液體
抗壓性：10MPa
抗壓性：10MPa
超潔凈
超潔凈






HORIBA STEC 微小液體質(zhì)量流量計LF-F 質(zhì)量流量控制器LV-F,具備冷卻測試方式的液體質(zhì)量流量計，可精確
檢測低沸點和高粘度液體的流量，儀器內(nèi)部進(jìn)行超潔凈處理并符合 RoHaS 環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)


微小液體質(zhì)量流量計LF-F
微小液體質(zhì)量流量控制器LV-F
提供超低微小流量檢測
提供超低微小流量控制
可精準(zhǔn)檢測低沸點和高粘度液液體
可精準(zhǔn)控制低沸點和高粘度液液體
抗壓性：10MPa
抗壓性：10MPa
超潔凈
超潔凈


質(zhì)量流量控制器



型 號

LV-F20 (PO/MO)

LV-F30 (PO/MO)

LV-F40 (PO/MO)

LV-F50 (PO/MO)

LV-F60 (PO/MO)

全標(biāo)度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測控制
 范圍

5?99% F.S.

對象液體
 種類*1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體
 粘度*2

低于 0.01 Pa·s (10cp)

精度*3

±1% F.S.

直線性*3

±0.5% F.S.

重復(fù)性*3

±0.5% F.S.

響應(yīng)精度

3秒以內(nèi)(T98)

2秒以內(nèi)(T98)

使用環(huán)境
 溫度*4

5?50℃(15?45℃精度的確保)

溫度影響
 Span

±0.1%F.S./℃

工作差
 壓值*5

0.05?0.3MPa

耐 壓

1MPa

壓力損失

ー

流量設(shè)定
 信號

模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出
 信號

模擬：0?5 VDC(*小負(fù)荷電阻2kΩ)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅(qū)動電源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏
 規(guī) 格

PO類型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO類型：5×10-12Pa?m3/s (He)

接液部材質(zhì)

PO類型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA　MO類型：SUS316L，Ni

標(biāo)準(zhǔn)接頭

1/16"，1/8"卡套；
1/8"VCR
 1/8"VCR
 1/8"VCR

1/8"SWL類型，1/8"VCR類型

1/4"SWL類型1/4"VCR類型


質(zhì)量流量計

型 號

LF-F20M-A

LF-F30M-A

LF-F40M-A

LF-F50M-A

LF-F60M-A

全標(biāo)度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測控制范圍

5?99% F.S.

對象液體種類*1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外

液體粘度*2

不高于 0.1 Pa·s (100cp)

精度*3

±1% F.S.

直線性*3

±0.5% F.S.

重復(fù)性*3

±0.5% F.S.

響應(yīng)精度

3秒以內(nèi)(T98)

2秒以內(nèi)(T98)

使用環(huán)境溫度*4

5?50℃(15?45℃精度的確保)

溫度影響Span

±0.1%F.S./℃

工作差壓值值*5

不高于5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo控制閥)

耐壓

10MPa (視為流量計)

壓力損失

不高于 500Pa

流量設(shè)定信號

模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出信號

模擬：0?5 VDC ；數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅(qū)動電源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏規(guī)格

5×10-12Pa·m3/s (He)

接液部材質(zhì)

SUS316L, Ni

標(biāo)準(zhǔn)接頭

1/16"，1/8"SWL類型，1/8"VCR類型

1/8"SWL類型，1/8"VCR類型

1/4"SWL類型1/4"VCR類型


*1：LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正(請預(yù)先所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發(fā)生變化時，請預(yù)*行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端)安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2：LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到 *大值，0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請預(yù)*行咨詢協(xié)商。
*3： 以SEMI E56-1296為準(zhǔn)。
*4： 進(jìn)行測量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以 內(nèi)；如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內(nèi)。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
外形尺寸：




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