設(shè)備組成
1. 爐體爐膛：雙層殼體，水冷 / 風(fēng)冷降溫；爐膛材料多為氧化鋁纖維、聚輕剛玉；爐門 O 型圈水冷密封，手輪壓緊，防止漏氣。
2. **加熱元件**
- ≤1250℃：鐵鉻鋁電阻絲
- 1200?1600℃：硅碳棒
- 1600?1800℃：硅鉬棒
- 1800℃以上：石墨加熱體
3. **真空系統(tǒng)**：旋片機械泵（標(biāo)配，極限?0.1MPa）；高真空選配羅茨泵、分子泵。
4. **氣路系統(tǒng)**：浮子流量計 / MFC 質(zhì)量流量控制器、進氣閥、排氣閥、泄壓安全閥；支持 N?、Ar、H?等氣體通入。
5. **電控溫控**：PID 程序溫控儀，多段升溫曲線，控溫精度 ±1℃；帶超溫、斷偶、開門斷電、斷水報警保護。
二、核心工藝流程
1. 裝料，鎖緊爐門，確認(rèn)密封；
2. 抽真空 → 充入保護氣，循環(huán)置換 2?3 次，降低爐膛殘氧；
3. 維持**微正壓**，啟動程序升溫；
4. 升溫?保溫工藝完成，停止加熱；
5. **必須降溫至 200℃以下，再破真空開門取樣**，嚴(yán)禁高溫開爐。
