1200℃惰性氣體實驗爐是一種在1200℃高溫下，通過充入氮氣、氬氣等惰性氣體保護(hù)樣品，防止其氧化的實驗室設(shè)備。常用于材料燒結(jié)、退火、CVD 實驗等。
核心技術(shù)參數(shù)
溫度范圍：室溫～1200℃（長期建議≤1150℃）
控溫精度：±1℃，溫場均勻性 ±3~5℃
升溫速率：5~20℃/min（可編程控制）
氣氛系統(tǒng)：支持 N?、Ar 等惰性氣體，流量可控
真空度：標(biāo)配可達(dá) 10?2 Pa（根據(jù)型號）
加熱元件：鐵鉻鋁電阻絲、硅碳棒或硅鉬棒
爐膛材料：氧化鋁 / 多晶莫來石纖維（耐高溫、低熱容）
主要結(jié)構(gòu)組成
爐體：雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，外殼溫度低，安全節(jié)能。
加熱系統(tǒng)：根據(jù)型號配置電阻絲或硅鉬棒，提供穩(wěn)定熱源。
氣氛 / 真空系統(tǒng)：由真空泵、密封法蘭、氣體流量計等組成，用于置換爐內(nèi)空氣并維持惰性氣氛。
溫控系統(tǒng)：高精度 PID 可編程儀表，可設(shè)置復(fù)雜的升溫、保溫、降溫曲線。
主要用途
材料科學(xué)：金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、納米材料的燒結(jié)、退火、回火。
新能源：鋰電池正極材料（如磷酸鐵鋰）煅燒、太陽能電池材料制備。
電子工業(yè)：硅晶圓退火、電子陶瓷共燒、元件鍍膜。
化工催化：催化劑煅燒、分子篩制備、氣相沉積（CVD）實驗。
常見類型
箱式爐：也稱馬弗爐，爐膛空間大，適合塊狀、批量樣品處理。
