一、工作原理
電阻加熱：電流通過(guò)電阻絲、硅碳棒、硅鉬棒等元件，電能轉(zhuǎn)為熱能，以熱輻射為主加熱工件。
真空環(huán)境：機(jī)械泵粗抽（至≈10?1 Pa），分子泵 / 擴(kuò)散泵精抽（至 10?3–10?? Pa），排除氧氣與水汽，防止高溫氧化與污染。
控溫與氣氛：PID 智能控溫（±1℃），可多段編程；可選通惰性 / 還原性氣體（N?、Ar、H?）。
二、典型結(jié)構(gòu)
爐體：雙層水冷殼體（防燙、降溫），碳鋼 / 不銹鋼材質(zhì)；爐門金屬法蘭 + 銅圈密封，漏率＜1×10?? Pa?m3/s。
爐膛：高純氧化鋁陶瓷纖維 / 莫來(lái)石，低放氣、耐高溫、保溫好。
加熱元件：
≤1000℃：鎳鉻 / 鐵鉻鋁電阻絲。
1200–1600℃：硅碳棒。
1600–1800℃：硅鉬棒（常用，壽命長(zhǎng)）。
真空系統(tǒng)：機(jī)械泵 + 分子泵（標(biāo)配），可選羅茨泵 / 擴(kuò)散泵；配真空計(jì)、電磁閥、冷阱。
控制系統(tǒng)：PLC / 觸摸屏，溫度 - 壓力曲線實(shí)時(shí)顯示，真空聯(lián)鎖保護(hù)（真空不足不加熱）。
三、核心技術(shù)參數(shù)（常見(jiàn)范圍）
溫度：1200℃、1400℃、1700℃（定制可達(dá) 1800℃）。
極限真空度：5×10?3 Pa（高真空型可達(dá) 10?? Pa）。
升溫速率：≤20℃/min（可編程）。
控溫精度：±1℃，恒溫均勻性 ±2–3℃。
爐膛尺寸：300×300×300 mm（常用，可定制）。
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