鄭州安晟科學儀器有限公司
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閱讀：2發(fā)布時間：2026-9-23
結構與配置
1. **爐管**
- ≤1200℃：高純石英管（透明，可觀察樣品，易清洗）
- 1200～1700℃：99 高純剛玉管（耐高溫，不透明）
- 兩端：KF 真空法蘭、氟橡膠 O 型圈，密封性能好，可承受負壓
2. **加熱元件**
- ≤1200℃：鎳鉻 / 鐵鉻鋁電阻絲
- 1400℃：硅碳棒
- 1600~1700℃：硅鉬棒
3. **真空系統(tǒng)**
- 標配：旋片式機械泵，極限真空一般 **-0.095MPa（約 10Pa）**
- 升級：機械泵 + 分子泵，實現(xiàn)高真空（10?3~10??Pa）
- 配套：真空表、真空閥門、放氣閥，實時觀察真空度
4. **氣路系統(tǒng)**
氣瓶→減壓閥→流量計（浮子 / MFC）→進氣法蘭；出氣帶尾氣瓶，可觀察氣泡、防止空氣倒吸。常用保護氣：氮氣 N?、氬氣 Ar。
5. **溫控系統(tǒng)**
PID 可編程溫控儀，多段程序升溫 / 保溫 / 降溫；熱電偶測溫，帶超溫、斷偶、過載保護，控溫精度 ±1℃。
## ? 工作原理
工藝為**真空置換法**，目的是排掉爐管內氧氣、水汽：
1. 樣品放入爐管，鎖緊兩端真空法蘭，形成密閉腔體；
2. 開啟機械泵抽真空，抽出爐管內空氣；抽到設定真空度后，關閉真空泵；
3. 通入保護氣體（氮氣 / 氬氣）至微正壓，完成一次置換；一般重復**2～3 次抽真空 + 充氣**，把殘余氧降到很低；
4. 升溫熱處理，全程保持爐管**微正壓通氣**，阻止外界空氣倒灌氧化樣品；
5. 保溫結束，按程序降溫；待爐體冷卻至安全溫度，緩慢放氣，取出樣品。
兩種工藝模式：
> ① 真空置換 + 保護氣氛（常用）；② 直接真空保溫熱處理（不充氣）
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