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能量色散X射線熒光光譜儀

閱讀:3發(fā)布時間:2026-9-9

能量色散X射線熒光光譜采用脈沖高度分析器將不同能量的脈沖分開并測量。能量色散X射線熒光光譜儀可分為具有高分辨率的光譜儀,分辨率較低的便攜式光譜儀,和介于兩者之間的臺式光譜儀。
高分辨率光譜儀通常采用液氮冷卻的半導(dǎo)體探測器,如Si(Li)和高純鍺探測器等。低分辨便攜式光譜儀常常采用正比計數(shù)器或閃爍計數(shù)器為探測器,它們不需要液氮冷卻。近年來,采用電致冷的半導(dǎo)體探測器,高分辨率譜儀已不用液氮冷卻。同步輻射光激發(fā)X射線熒光光譜、質(zhì)子激發(fā)X射線熒光光譜、放射性同位素激發(fā)X射線熒光光譜、全反射X射線熒光光譜、微區(qū)X射線熒光光譜等較多采用的是能量色散方式。

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