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P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電陶瓷線性平臺

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更新時間：2026-09-08 10:06:55瀏覽次數(shù)：38次

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安徽飛創(chuàng)儀器設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

無摩擦、免維護、無磨損零部件帶來的超高可靠性

詳細介紹

無摩擦、免維護、無磨損零部件帶來的超高可靠性。真空兼容型可達10^-9 百帕

用于精密導(dǎo)向的無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計與實現(xiàn)大行程的杠桿放大相結(jié)合。由全瓷絕緣PICMA促動器驅(qū)動，具有超長使用壽命

無接觸式測量法（直接測量）。無摩擦亞納米級分辨率。的線性度。達10千赫茲的高帶寬

科研和工業(yè)。真空環(huán)境達10^-9 百帕

技術(shù)參數(shù)：

	P-620.1CD P-620.1CL	P-621.1CD P-621.1CL	P-622.1CD P-622.1CL	P-625.1CD P-625.1CL	P-628.1CD P-628.1CL	P-629.1CD P-629.1CL	單位	公差
主動軸	X	X	X	X	X	X
運動和定位
集成傳感器	電容式	電容式	電容式	電容式	電容式	電容式
開環(huán)行程，-20至120伏	60	120	300	600	950	1800	微米	最小（20 % / -0 %）
閉環(huán)行程	50	100	250	500	800	1500	微米
閉環(huán)/開環(huán)分辨率	0.2 / 0.1	0.4 / 0.2	0.7 / 0.4	1.4 / 0.5	1.8 / 0.5	3 / 2	納米	典型值
閉環(huán)線性誤差	0.02	0.02	0.02	0.03	0.03*	0.03**	%	典型值
重復(fù)精度	±1	±1	±1	±5	±10	±14	納米	典型值
螺距/偏轉(zhuǎn)角	±3	±3	±3	±6	±6	±30 / ±10	微弧度	典型值
機械特性
運動方向上的剛性	0.42	0.35	0.2	0.1	0.12	0.13	牛/微米	±20 %
空載諧振頻率	1100	800	400	215	125	125	赫茲	±20 %
諧振頻率@ 20克	550	520	340	180	115	120	赫茲	±20 %
諧振頻率@ 120克	260	240	185	110	90	110	赫茲	±20 %
運動方向上的推/拉力	10	10	10	10	10	10	牛
負(fù)載容量	10	10	10	10	10	10	牛
側(cè)力	10	10	10	10	10	8	牛
驅(qū)動特性
壓電陶瓷	PICMA P-883	PICMA P-885	PICMA P-885	PICMA P-885	PICMA P-887	PICMA P-888
電容	0.35	1.5	3.1	6.2	19	52	微法	±20 %
動態(tài)操作電流效率	0.9	1.9	1.9	1.6	3	4.3	微安/(赫茲 × 微米)	±20 %
其他
工作溫度范圍	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	°C
材料	鋁	鋁	鋁	鋁	鋁	鋁
尺寸	30 毫米 × 30 毫米 × 12 毫米	40 毫米 × 40 毫米 × 15 毫米	50 毫米 × 50 毫米 × 15 毫米	60 毫米 × 60 毫米 × 15 毫米	80 毫米 × 80 毫米 × 17 毫米	100 毫米 × 100 毫米 × 22.5 毫米
質(zhì)量	0.11	0.16	0.2	0.24	0.38	0.72	千克	±5 %
電纜長度	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	米	±10 毫米
傳感器/電壓連接	CD版本：Sub-D特殊 CL版本：LEMO

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集成式杠桿/導(dǎo)向模塊可實現(xiàn)多種軸配置的靈活設(shè)置

帶電容傳感器的直接位置計量

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