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高純過(guò)濾器

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高純過(guò)濾器滿足SEMIE49.8-96嚴(yán)格的超高純氣體系統(tǒng)的過(guò)濾要求（SCF系列）

詳細(xì)介紹

高純過(guò)濾器

滿足SEMI E49.8-96嚴(yán)格的超高純氣體系統(tǒng)的過(guò)濾要求（SCF系列）。

具有直通、全焊接結(jié)構(gòu)（FW系列）。

全焊接直通型過(guò)濾器（FW系列）

規(guī)格

工作壓力	達(dá)到6000 psig (413 bar)
壓差	達(dá)到600psi (41.3 bar)
溫度	–20到900℉（–28到482℃）
殼體材料	316不銹鋼
濾芯
材料	316L不銹鋼燒結(jié)式或不銹鋼折疊網(wǎng)式
標(biāo)稱孔徑	0.5到15μm
端接
類型	世偉洛克卡套管接頭、NPT、VCR®面密封接頭
尺寸	1/4 in.; 6 mm

超高純（UHP）氣體過(guò)濾器（SCF系列）

規(guī)格

工作壓力	達(dá)到3000 psig (206 bar)
壓差	達(dá)到145 psi (10 bar)
溫度	達(dá)到122°F (50°C)
流量	2700 std L/min
殼體材料	316L VAR 不銹鋼
內(nèi)表面處理	電拋光, 5 μin (0.13 μm) Ra
濾芯
材料	高純氧化鋁
過(guò)濾等級(jí)	> 99.999999 % at 0.003 μm
端接
類型	VCR 面密封接頭
尺寸	1/4, 1/2, 和3/4 in.

關(guān)鍵詞：過(guò)濾器

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