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江蘇卡特斯流體控制設(shè)備有限公司


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原子層沉積 (ALD) 閥

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地常州市

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更新時間:2023-09-10 10:18:25瀏覽次數(shù):284次

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產(chǎn)品簡介

世偉洛克是半導(dǎo)體芯片制造應(yīng)用的技術(shù)和解決方案提供商,同時也是ALD閥門技術(shù)的*

詳細介紹

    世偉洛克是半導(dǎo)體芯片制造應(yīng)用的技術(shù)和解決方案提供商,同時也是 ALD 閥門技術(shù)的*。我們的 ALD 超高純 (UHP) 閥具有以下特點:

    ●高速啟動下的超高循環(huán)壽命

    ●Cv 范圍從 0.27 至 1.7

    ●使用熱動元件時,全浸沒溫度高達 392°F (200°C)

    ●適合于采用標(biāo)準 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的 UHP 應(yīng)用

    ●模塊化表面安裝、卡套管對焊和 VCR® 端接

    ●電子或光學(xué)執(zhí)行機構(gòu)位置傳感選購件

    ALD3 和 ALD6 UHP 隔膜閥

    ALD 隔膜閥具有超長的使用壽命、高速的啟動和高達 0.62 的流量系數(shù),與熱執(zhí)行機構(gòu)、位置傳感器和電磁閥配合使用,可在原子層沉積應(yīng)用場合實現(xiàn)性能。

    規(guī)格

    工作壓力

    真空至 145 psig (10.0 bar)

    爆裂壓力

    3200 psig (220 bar)

    執(zhí)行壓力

    50 至 90 psig(3.5 至 6.2 bar)

    溫度

    32° 至 392°F(0° 至 200°C)

    流量系數(shù)(Cv)

    0.27 或 0.62

    閥體材料

    316L VIM-VAR 不銹鋼

    隔膜材料

    鈷基高溫合金

    端接

    類型(尺寸)

    內(nèi)螺紋 VCR® 面密封接頭(1/4 in. 至 1/2 in.)
    外螺紋 VCR 面密封接頭(1/4 in. 至 1/2 in.)
    模塊化表面安裝高流量 C 型密封(1.125 in. 至 1.5 in.)

    適用于高流量應(yīng)用的 ALD20 UHP 閥門

    ALD20 UHP 閥門是世偉洛克 ALD 產(chǎn)品系列的成員。正在申請的設(shè)計允許利用具有挑戰(zhàn)性的低蒸汽壓前體。ALD20 采用超高純波紋管,因此與其他 ALD 閥相比,可促進清潔操作并具有更高的流量。

    此外,ALD20 閥可以熱浸在氣箱中,并可以從 50°F (10°C) 加熱到 392°F (200°C)。

    規(guī)格

    工作壓力

    真空至 20 psig (1.4 bar)

    爆裂壓力

    >3200 psig (220 bar)

    執(zhí)行壓力

    70 至 90 psig(4.8 至 6.2 bar)

    溫度

    50° 至 392°F(10° 至 200°C)

    流量系數(shù) (Cv)

    1.2 (MSM) 或 1.7(直通型)

    閥體材料

    316L VIM-VAR 或合金 22

    波紋管材料

    合金 22(5 μin.Ra 表面粗糙度)

    端接

    類型(尺寸)

    內(nèi)螺紋 VCR® 接頭 (1/2 in.) 
    可旋轉(zhuǎn)外螺紋 VCR 接頭 (1/2 in.) 
    卡套管對焊,長 0.50 in. (1/2 in. x 0.049 in.) 
    模塊化表面安裝高流量 C 型密封 (1.5 in.)

     



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