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桌面型原子層沉積系統(tǒng)

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更新時間：2022-09-23 11:48:57瀏覽次數(shù)：430次

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巨力光電（北京）科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

桌面型原子層沉積系統(tǒng)

詳細介紹

產(chǎn)品介紹：詳細說明：

桌面型原子層沉積系統(tǒng)由哈佛大學納米科學中心薄膜沉積工藝研究科學家Dr. Philippe de Rouffignac設(shè)計，基于多年納米薄膜制備的豐富經(jīng)驗以及對科研工作者切實研究需要的了解，推出了此桌面型、高性能的原子層沉積系統(tǒng)。設(shè)備自2015年在CNS安裝以來，到目前為止已有超過上千人次使用，人性化的設(shè)計、操作便捷。

設(shè)備資料

主要特點：
1. 腔室專為R&D設(shè)計和優(yōu)化，樣品尺寸達直徑4’’,可升級至6''；
2. 反應腔溫度可控范圍：RT-350℃；
3. 前驅(qū)體源溫度可控范圍：RT-150℃；
4. 腔室處理壓力可控范圍：0.1-1.5 torr；
5. 源擴展多達5個；
6. 快速循環(huán)處理功能；
7. 氣路優(yōu)化設(shè)計、腔體小型化設(shè)計；
8. 一分鐘多達6-10；
9. 成熟的薄膜Recipes內(nèi)置程序；
10. 觸屏PLC控制；
11. 可配套手套箱使用；
12. 可配備臭氧發(fā)生器；

可處理材料：

MATERIAL CLASS	STANDARD RECIPES	RECIPES IN DEVELOPMENT	SYSTEM CAPABLE MATERIALS
Oxides (A_xO_y)	Al, Si, Ti, Zn, Zr, Hf	V, Y, Ru, In, Sn, Pt	Li, Be, Mg, Ca, Sc, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Ga, Sr Nb, Rh, Pd, Sn, Ba, La, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd
Elementals (A)	Ru, Pd, Pt, Ni, Co	Rh, Os, Ir	Fe, Cu, Mo
Nitrides (A_xN_y)	Zr, Hf, W	Ti, Ta	Cu, Ga, Nb, Mo, In
Sulfides (A_xS_y)			Ca, Ti, Mn, Cu, Zn, Sr, y, Cd, In, Sn, Sb, Ba, La, W
Other Compounds	AZO (AL:ZnO), AxSiyOz ()A=Al, Zr, Hf	YSZ (yttria stabilized sirconia) ITO	Many others