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納米壓印系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2026-09-16 10:32:35瀏覽次數(shù)：25次

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巨力光電（北京）科技有限公司

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納米壓印系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

詳細(xì)說(shuō)明：

桌面型納米熱壓印系統(tǒng)，針對(duì)大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所微納米加工研究設(shè)計(jì)，配備精密的溫度控制和低壓控制系統(tǒng)，使用方便，性能穩(wěn)定可靠；同時(shí)配合專業(yè)設(shè)計(jì)的壓印模板，可實(shí)現(xiàn)各種微納米圖形加工，特征線寬小于20nm；

主要特點(diǎn)：
1.桌面型設(shè)計(jì)；
2.熱壓印技術(shù)；
3.模板整合溫度控制；
4.快速升溫、快速降溫，大大縮短熱循環(huán)加工周期；
5.低壓控制技術(shù)；
6.自動(dòng)壓入、脫模設(shè)計(jì)；
7.適用于各種微納米加工研究（2inch~4inch，其他定制）；
8.特征線寬小于20nm；

安裝要求：
1.真空0.4 to 0.8 bar（實(shí)驗(yàn)室真空要求），流速至少1mL/min；
2.壓縮空氣或壓縮氮?dú)?-10 bar；
3.電源：110-240V (50-60 Hz, larger than 200W)；

附件：納米壓痕模板