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激光干涉儀 GBM08A POWER值測(cè)試

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更新時(shí)間：2023-08-22 12:38:43瀏覽次數(shù)：330次

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光干涉透射法檢測(cè)元件厚度差的原理：在激光干涉儀進(jìn)行透射測(cè)量時(shí)，激光光源發(fā)出的單色光,垂直向下經(jīng)過(guò)被檢元件上、下兩表面被標(biāo)準(zhǔn)反射鏡反射后會(huì)形成干涉條紋，每個(gè)點(diǎn)上所生的干涉條紋取決于該點(diǎn)上兩相干的光的光程差

詳細(xì)介紹

光干涉透射法檢測(cè)元件厚度差的原理：

在激光干涉儀進(jìn)行透射測(cè)量時(shí)，激光光源發(fā)出的單色光,垂直向下經(jīng)過(guò)被檢元件上、下兩表面被標(biāo)準(zhǔn)反射鏡反射后會(huì)形成干涉條紋，每個(gè)點(diǎn)上所生的干涉條紋取決于該點(diǎn)上兩相干的光的光程差。當(dāng)光程差為nλ+0.5λ時(shí)，顯示為暗條紋；當(dāng)光程差為nλ+λ時(shí)，顯示為亮條紋；

所以，當(dāng)被檢元件的兩個(gè)面不平行，存在楔角時(shí)，沿楔角方向，元件的厚度逐漸增大，相應(yīng)的光程差也逐漸變大，沿楔角方向就會(huì)產(chǎn)生間隔分布亮暗條紋。楔角越大，條紋越密集。

檢測(cè)指標(biāo)的簡(jiǎn)單說(shuō)明：

PV值在數(shù)學(xué)上的定義是峰谷值( Peak to Valley),即值和最小值的差值。單位是λ(波長(zhǎng))。對(duì)應(yīng)到干涉儀透射檢測(cè)上，就是被檢元件的厚度差。

RMS值在數(shù)學(xué)上的定義是均方根值(root-mean-square)，單位是λ(波長(zhǎng)),這是一個(gè)統(tǒng)計(jì)值，RMS的大小反映了這些數(shù)據(jù)值的離散程度。對(duì)應(yīng)到干涉儀透射檢測(cè)上，RMS值越小表明被檢元件的厚度平滑性越好，高低起伏越少。

條紋根數(shù)是肉眼可見(jiàn)的被檢元件厚度差的直觀表現(xiàn)，與PV值成線性關(guān)系。條紋根數(shù)越少表明被檢元件的厚度差越小。

激光干澀儀參數(shù)：

序號(hào)	名稱	GBM08A
1	測(cè)量原理	菲索干涉原理
2	激光器	半導(dǎo)體激光器 635nm 940nm
3	有效孔徑	30mm （允許同時(shí)管控8個(gè)孔）
4	標(biāo)準(zhǔn)鏡面形精度	0.05λ
5	面形值重復(fù)精度	PV 0.06λ(標(biāo)準(zhǔn)片)
6	面形值量程	PV 0～3λ
7	測(cè)試時(shí)間	PV測(cè)試：1秒；條紋數(shù)測(cè)試：1秒內(nèi)
8	夾具	有
9	軟件	PVmeter
10	電源	220V 60W
11	通訊接口	USB
12	重量	15Kg
13	自動(dòng)化接口	預(yù)留