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無電極Z-PinchTM EUV（極紫外）、SXR（軟X射線）光源系列

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產(chǎn)品型號EQ-10，EQ-10HR，EQ-10HP，EQ-10SXR

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更新時(shí)間：2026-10-09 12:56:55瀏覽次數(shù)：29次

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產(chǎn)品簡介

的空間穩(wěn)定性和穩(wěn)定的可重復(fù)輸出功率！型號：EQ-10，EQ-10HR，EQ-10HP，EQ-10SXR

詳細(xì)介紹

Energetiq光源是一款高亮度，高穩(wěn)定、長壽命寬譜光源，采用革命性的光源技術(shù)——LDLS™激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù)，這種光源從170nm通過可見光到近紅外2100nm范圍內(nèi)亮度、光譜平坦，壽命比傳統(tǒng)光源高一個(gè)數(shù)量級。

無電極Z-PinchTM EUV（極紫外）、SXR（軟X射線）光源系列

Energetiq獨(dú)特的技術(shù)基于Z-Pinch等離子體，但是不使用電極而是通過電感將電流耦合進(jìn)入等離子體中。Energetiq光源中的等離子體通過磁性遠(yuǎn)離光源內(nèi)壁，能夠?qū)嶝?fù)載消除到極低并減少殘留碎屑。Energetiq的無電極Z-Pinch技術(shù)有的空間穩(wěn)定性和穩(wěn)定的可重復(fù)輸出功率。

主要特點(diǎn)

輸出波長13.5nm，2nm-4nmTM
輸出功率10W@13.5±1%（可選20W型號）
重復(fù)頻率2kHz（可選10kHz型號）
無電極Z-Pinch技術(shù)
符合CE標(biāo)志和SEMI S2-0703

主要應(yīng)用

EUV度量學(xué)
耐EUV開發(fā)
缺陷檢測
EUV顯微學(xué)
水窗顯微鏡（XSR版本）

選型指南


型號	EQ-10	EQ-10HR	EQ-10HP	EQ-10SXR
輸出功率（用氙氣在2π球面）	10W,13.5nm,±1%寬帶	-	20W,13.5nm,±1%寬帶	400mW,2.8nm,產(chǎn)生2-4nm軟X射線
脈沖重復(fù)率	1200 to 2000 Hz	10kHz	1200 to 2500 Hz	2kHz
尺寸	小等離子體尺寸
殘留情況	低殘留
工作壓強(qiáng)	一般70到100 mTorr	一般150 mTorr	一般70到150 mTorr	-
氙氣流速	一般5到15 sccm	一般100 sccm	一般5到15 sccm	-
低成本	氙氣流速低，將消耗成本降低，占地面小
可靠性強(qiáng)	無電極Z-Pinch技術(shù)，符合CE標(biāo)志和SEMI S2-0703
應(yīng)用	EUV度量學(xué) 耐EUV開發(fā) 缺陷檢測 EUV顯微學(xué)	EUV光學(xué)元件測量 EUV計(jì)量學(xué) 耐EUV開發(fā) 缺陷檢測 EUV顯微學(xué)	EUV掩膜檢測 EUV度量學(xué) 耐EUV開發(fā) EUV顯微學(xué)	水窗顯微鏡細(xì)胞微光束探測