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molbox1+ 流量測量主機

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更新時間：2022-12-19 10:16:40瀏覽次數：792次

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產品簡介

molbox1+ 流量測量主機

詳細介紹

讀數的 ±0.125％ — 更低的氣流校準不確定度

福祿克計量校準部的全新 molbox1+ 流量終端是對 molbloc/molbox 氣流校準系統(tǒng)的一次重大升級。molbox1+ 結合了 molbox 流量元件，可確保您獲得氣流計校準和控制器校準工作的不確定度。特別配置版 molbox1+S 可讓您在壓力下使用 molbloc-S 音速噴嘴流量元件，而且極其精準，大大擴展了產品的流量使用量程。

molbloc/molbox1+ 氣流校準系統(tǒng)是氣流計校準、和校準熱質量流量控制器 (MFC)、轉子流量計、氣泡檢測儀以及其他流量測量設備的解決方案。molbloc/molbox 可開展實時測量，無需移動部件且獲得多個不同氣體與工作壓力的可溯源校準支持，因此能夠應對幾乎任何校準應用。molbloc/molbox 系統(tǒng)在很多行業(yè)內得到廣泛應用，包括制藥、半導體、航空、環(huán)境監(jiān)測、發(fā)電、參考氣體配方、以及研究和標準實驗室。

不確定度參數

molbox1+ 的創(chuàng)新性讓 molbloc/ molbox1+ 系統(tǒng)實現(xiàn)了低的氣流測量不確定度。多個關鍵點的改善讓更低的不確定度成為可能，包括：

使用福祿克計量校準部專有的石英參考級壓力傳感器 (Q-RPT) 技術來精確測量絕壓和差壓。molbox1+ Q-RPT 是根據福祿克計量的校準部壓力傳輸標準在相同技術下專門定做的傳感器。
高級 molbloc 校準作業(yè)能夠使 molbloc 流量輸出線性化，從而更好地獲取準確度和可溯源性。
擴展 molbloc 模式化可提高 molbloc-L 層流元件在工作壓力量程內的性能。
利用 NIST 參考液體熱動力與輸送屬性數據庫 (REFPROP) 來降低氣體屬性的不確定度。
使用福祿克計量校準部的動態(tài)重力流量標準來進行基礎質量與時間質量流量測量，并以此基礎不斷改善福祿克計量校準部的 molbloc 校準鏈。

現(xiàn)有兩種等級的 molbloc 流量元件校準作業(yè)，方便您平衡不確定度和成本要求：

高等級：流量測量不確定度為讀數的 ±0.125％（帶 molbox1+）
標準等級：流量測量不確定度為讀數的 ±0.2％（帶 molbox1 或 molbox1+）

全新 molblocs 則配套以上兩種校準等級類型?，F(xiàn)有 molblocs 可兼容不確定度為 ±0.2％讀數的 molbox1+，無需作出任何調整。原有 molblocs 的升級服務可方便適配高級校準和測量，詳見以下說明。

福祿克計量校準部的不確定度參數較為保守，而且也進行過不確定度分析和計量支持。福祿克計量校準部的創(chuàng)新與設計仍將繼續(xù)以確保產品能夠為用戶在實際應用而不是假設環(huán)境下實現(xiàn)參數功能作為目標。

molbox1+S 音速噴嘴校準設備擴展了量程可調性，不含真空泵的 molbox1+S 是 molbox 1+ 的特定配置，使您能夠使用 molbloc-S 音速噴嘴流量元件來覆蓋更大量程（10:1 調節(jié)），而且無需配備昂貴的真空泵。molbox1+S 音速噴嘴校準設備配套上游 Q-RPT 壓力量程，可達 2 MPa (300 psia)，可在大氣壓下（常規(guī)應用）在要測試的流量計的寬流量量程上游輕松使用 molbloc-S 元件。更廣的可調量程將使用更少的 molbloc 元件和附件，令校準系統(tǒng)配置變得更簡單。而且在增加高壓 molbloc 校準時還能大大拓展您原有 molbloc-S 元件的量程。

常壓下測試設備時 molbloc-S 的量程舉例

Molbloc-S 元件	配合 SP 校準和 molbox1 A700K 的可用量程	配合 HP 校準和 molbox1+S A2M 的可用量程
1E2-S	15 到 50 slm*	20 到 200 slm*
5E2-S	67 到 250 slm*	100 到 1000 slm*

*在用于常壓下設備上游時，配合 SP 校準下 molbloc-S 的可用流量受到音速流背壓要求所限制。流量值單位為標準升/分鐘，參考溫度 0℃。

molbox1+S 設計用于與 molbloc-S 音速噴嘴校準設備配合使用，因此僅針對絕壓測量進行配置，從而降低了成本。它還可降低流量系統(tǒng)的復雜性和總成本以及持續(xù)反復校準成本。

在多種應用中使用相同的 molbloc

多重 molbloc 校準作業(yè)現(xiàn)在可支持各類氣體。這就意味著您現(xiàn)在可以分別校準 molbloc 以便在高壓（受測設備上游）和低壓（受測設備下游）下使用，從而支持不同應用類型，無需再使用兩臺 molbloc 或手動加載不同 molbloc 校準文件。所有校準情況均保存在 molbloc EEPROM 當中，用戶只需從 molbloc+ 前面板中或通過 molbloc+ 遠程接口選擇校準類型即可。

用于 molbox 的 COMPASS® 以及全新的 COMPASS® for Flow 軟件帶來了自動化和更多性能

COMPASS 校準輔助軟件讓 molbloc/molbox 朝自動化校準又邁進了一步。COMPASS 與個人計算機配合 molbloc/molbox 開展工作，為流量設備的校準和測試創(chuàng)造了現(xiàn)代化全功能統(tǒng)包式系統(tǒng)。

COMPASS 負責設定受測設備 (UUT) 記錄（或者受測單元），定義并協(xié)助受測設備的測試進程、運行測試、采集參考值和測試數據、提供標準并自定義校準報告。質量流量設備的氣體糾正因素和體積測定設備如轉子流量計的氣體密度糾正能夠輕松獲得支持，還可以選擇使用壓力和溫度測量的自動輸入壓力來動態(tài)計算和糾正流量。所有參考值、DUT 以及測試數據都會收集并存儲在標準限定文件當中，方便輕松下載到其他應用程序內。

COMPASS for Flow 作為新款軟件，為流量校準作業(yè)帶來了原先只有福祿克計量校準部 COMPASS for Pressure 所能提供的特性。這些特性包括：

向福祿克 MET/TRACK® 軟件導出數據。
為需要自定義計算輸出指示的受測設備帶來增強型支持，一次提供特別通訊支持和多設備校準功能。
支持宏命令以應付幾乎無限制的測試系統(tǒng)自動化。
對附件設備如 MFC-CB（DHI 質量流量控制器控制箱）更完整更靈活的支持。

升級輕松

從 molbox1 升級到 molbox1+ 既經濟又簡便?？稍诟５摽擞嬃啃什康姆颇峥怂构S進行軟硬件升級。為升級并獲取 molbox1+ 的全新參數性能與特性，福祿克計量校準部會為您的系統(tǒng)進行如下步驟的處理。

變更 molbox1+ 軟/硬件 可變更任何需要的部件來讓您的 molbox 等同于工廠生產的 molbox1+ 設備。molbox 內置軟件刷寫至 6.0版。提供給您兩種選擇：升級原有 molbox1 以滿足 molbox1+ 的參數性能，或以舊換新購入全新 molbox1+，可對部分關鍵部件進行再利用，以此節(jié)降成本。
molbox1 內部壓力變送器的 Q-RPT 特性指標。原有兩款內部壓力傳感器可在新的 molbox1+ 中使用。變送器的廣泛特性提高了自身的準確度并確保其符合 molbox1+ 的參數性能。
molbloc 硬件升級。molbloc-L 或 molbloc-S 元件與 molbox1+ 一同使用需要對硬件進行修整以支持高級不確定度參數性能和新的數據結構。
新的 molbloc 氣體校準。molblocs 已經全模式化并已經根據硬件升級要求進行校準，從而令用于 molbox1+、福祿克計量校準部改善型校準鏈已經全新 molbloc 線性度和模式技術的增強式氣體屬性數據突顯優(yōu)勢效益。

我們會對整個系統(tǒng)進行升級并送還到您手上，并附帶參數性能與校準證書。新系統(tǒng)所占用的成本微乎其微。

常規(guī)參數
電源要求	85V ac 到 264V ac, 47 Hz 到 440 Hz, 功耗 18 VA
標稱工作溫度量程	15℃ 到 30℃（59℉ 到 86℉）
儲存溫度量程	-20℃ 到 70℃（-4℉ 到 158℉）
震動	符合 MIL-T-28800D 標準
重量	6.8 kg (15 lb)
尺寸（寬 x 高 x 厚）	約 32 cm x 12 cm x 30 cm (12.6 in x 4.7 in x 11.8 in)
通訊端口	RS-232 (COM1), RS-232 (COM2), IEEE-488.2
壓力連接（molbox1+ 與 molbloc）	快速連接口，等同于 Swagelok® QM 串口 (SS-QM2-B200)
流量量程	<1 sccm 到 >5000 slm 請參見 molbloc-L 與 molbloc-S 的不同量程表
流量測量速率	1 秒
支持氣體（請咨詢您的銷售代表以獲取出廠 molbloc 校準的氣體列表。）	氮氣 (N2)、空氣、氬氣 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦氣 (He)、氧氣 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟代乙烷 (C2F6)、氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、丙烷 (C3H8)、六氟化硫 (SF6)、丁烷 (C4H10)、氟環(huán)丁烷 (C4F8)、氙氣 (Xe)
驅動閥選件	(8) 12 V 輸出各項輸出可在 12 V 時下降 500 mA， 1 A
MFC 控制選件（模擬輸入/輸出）	額定電壓量程： 0V dc 到 6V dc 輸入 0V dc 到 5V dc 輸出額定電流量程： 4 mA 到 20 mA 輸入 4.01 mA 到 20 mA 輸出準確度： ±0.1％ FS（設定）、±0.05％ FS（測量）

壓力測量
類型	Q-RPT 特性石英參考級壓力變送器 — 使用如下機械擺動石英晶體
校準壓力量程（全刻度）	A700K：0 到 600kPa 絕壓（0 到 87 psia） A350K：0 到 300kPa 絕壓（0 到 44 psia） S A1.4M（僅 molbloc-S）：0 到 1.2 MPa 絕壓（0 到 174 psia） S A2M（僅 molbloc-S）：0 到 2 MPa 絕壓（0 到 290 psia）
測量不確定度（一年內）	絕壓 4 ±（讀數的 0.01％或 Q-RPT 范圍的 0.003％，取較大值）差壓（A700K 帶包裝） ±（8.4 Pa (0.0012 psi) 或 0.032％ ΔP，取較大值）差壓（A350K 帶包裝） ±（4.2 Pa (0.0006 psi) 或 0.026％ ΔP，取較大值）

溫度測量
類型	帶 molbox1+ 電阻測量系統(tǒng)的 molbloc PRT
量程 (FS)	0 到 40℃
分辨率	0.01 °CC
molbloc PRT 精度	±0.02℃（15 到 30℃）
板載	參考電阻器 100 和 110 Ω ± 0.01％，穩(wěn)定性 < 25 ppm/年電阻測量讀數的 ± 0.02％（15℃ 到 30℃）

流量測量
molbloc-L 層流元件
	標準 molbloc 校準	高級 molbloc 校準
范圍	molbloc 全刻度的 0 到 100％	molbloc 全刻度的 0 到 100％
分辨率	0.0015 % FS	0.0015 % FS
精度 1	讀數的 ±0.07％ 10％ FS 下為 ±0.007％ FS	讀數的 ±0.07％ 10％ FS 下為 ±0.007％ FS
穩(wěn)定性（一年內）2	讀數的 ±0.09％， 10％ FS 下為 ±0.009％ FS	讀數的 ±0.03％ 10％ FS 下為 ±0.003％ FS
測量不確定度 3 （使用 molbloc 進行校準的任意氣體）	讀數的 ±0.2％ 10％ FS 下為 ±0.02％ FS	讀數的 ±0.125％ 10％ FS 下為 ±0.0125％ FS
帶 molbloc-S 音速流元件
	標準 molbloc 校準	高級 molbloc 校準
范圍	molbloc 全刻度的 10％到 100％	molbloc 全刻度的 10％到 100％
分辨率	0.0015 % FS	0.0015 % FS
精度 1	讀數的 ±0.06％	讀數的 ±0.06％
穩(wěn)定性（一年內）2	讀數的 ±0.05％	讀數的 ±0.03％
測量不確定度 3 （使用 molbloc 進行校準的任意氣體）	讀數的 ±0.2％	讀數 4 的 ±0.125％

1 精確度：包含線性度、遲滯和可重復性。

2 穩(wěn)定性：典型 molbox 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時特定時間段內從零到范圍值的變化情況由于穩(wěn)定性可以預測，特定 molbox 與 molbloc 的穩(wěn)定性可以根據經驗進行判斷。

3 測量不確定度：molbox1+ 流量指示值與流經 molbloc 的流量真值的偏移量，包括精度、穩(wěn)定性和福祿克計量校準。對于不確定度的完整說明請參見技術說明 2011TN06B UNCERTAINTY ANALYSIS FOR FLOW MEASURED BY molbloc-L AND molbloc-S MASS FLOW TRANSFER STANDARDS（molbloc-L 與 molbloc-S 質量流量傳輸標準所測量出的流量的不確定度分析）

4 正常使用 Autozero（自動清零）功能。對于一年不使用 Autozero 功能的情況，需在 Q-RPT 范圍內再增加 0.005％（即 molbloc-S 的 0.005％ FS，對 molbloc-S 標準校準或 molbloc-L 不確定度影響不大。）

所有不確定度參數報告均為 k=2

關鍵詞：質量流量控制器轉子流量計標準壓力傳感器

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