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似空科學(xué)儀器（上海）有限公司


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日本SAMCO RIE等離子蝕刻設(shè)備 RIE-10NR

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產(chǎn)品型號(hào)RIE-10NR

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間：2025-04-20 08:32:22瀏覽次數(shù)：308次

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所在地區(qū)：

聯(lián)系人：經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述：RIE-10NR是一種新型的低成本、高性能、全自動(dòng)反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)，能夠滿足非腐蝕性氣體化學(xué)的工藝要求。計(jì)算機(jī)化觸摸屏為工藝配方編程和存儲(chǔ)提供了用戶友好的界面。該系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)精確的側(cè)壁輪廓控制和材料之間的高蝕刻選擇性。憑借其圓滑、緊湊的設(shè)計(jì)，RIE-10NR只需要很小的潔凈室空間。

詳細(xì)介紹

 

 

反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

SAMCO RIE-10NR

 

簡(jiǎn)介：

RIE-10NR是一種新型的低成本、
高性能、全自動(dòng)反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)，
能夠滿足非腐蝕性氣體化學(xué)
的工藝要求。
計(jì)算機(jī)化觸摸屏為工藝配方編
程和存儲(chǔ)提供了用戶友好的界面。
該系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)精確的側(cè)壁輪
廓控制和材料之間的高蝕刻選擇性。
憑借其圓滑、緊湊的設(shè)計(jì)，
RIE-10NR只需要很小的潔凈室空間。
 
應(yīng)用:
硅、二氧化硅、氮化硅、多晶硅、
砷化鎵、鉬、鉑、聚酰亞胺等材料的
腐蝕失效分析中的選擇性層腐蝕。

 

 

 

 

 

 

 

主要功能和優(yōu)點(diǎn)：
1、加工至ø220 mm（ø3“x 5，ø4”x 3，ø8”x 1）。
2、高選擇性各向異性蝕刻滿足嚴(yán)格的工藝要求全自動(dòng)“一鍵式”操作。
3、自動(dòng)壓力控制，允許獨(dú)立于氣流干泵和系統(tǒng)布局的過(guò)程壓力精確控制，便于維護(hù)。
4、于Windows的用戶界面，豐富的配方和內(nèi)置的數(shù)據(jù)記錄功能，是一個(gè)可靠和持久的系統(tǒng)，安裝了400多個(gè)系統(tǒng)。
 
 
 
主要參數(shù)規(guī)格：
基板
220 mm（ø3“x 5，ø4”x 3，ø8”x 1）
負(fù)載
開(kāi)放式
上下電極
ø240 mm
射頻功率
300瓦@13.56兆赫，自動(dòng)匹配（500瓦為選項(xiàng)）
可切換射頻供電電極（陽(yáng)極/陰極模式）為選項(xiàng)
氣體管道
內(nèi)部2條MFC控制的氣體管道（最多6條）
泵
干泵（500升/分鐘）
操作系統(tǒng)
觸摸屏操作（可選擇基于Windows的用戶界面）、配方管理
端點(diǎn)檢測(cè)
光學(xué)發(fā)射光譜（OES）作為一種選擇
尺寸
500 mm（寬）x 920 mm（深）x 1501 mm（高）

 

 
 
 
                   
 
 
 

關(guān)鍵詞：觸摸屏

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