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大量程氣體質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介TSK621系列超大量程流量氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)由質(zhì)量流量傳感器、層流原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介

T S K 6 2 1 系列超大量程流量氣體質(zhì)量流量控制器/ 流量計(jì)由質(zhì)量流量傳感器、層流原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成，它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，其原理是采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。用以準(zhǔn)確可靠的測量和控制氣體質(zhì)量流量，測量和控制精度高、零飄小，測量和控制范圍寬，測量和控制的準(zhǔn)確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響，廣泛的應(yīng)用于真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)化工實(shí)驗(yàn)設(shè)備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力等各領(lǐng)域。

技術(shù)特點(diǎn)

1、采用熱式原理、氣體的質(zhì)量流量不受環(huán)境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，滿量程可達(dá)3000ln/min
5、預(yù)熱時(shí)間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進(jìn)行通訊，操作簡單。

關(guān)鍵詞：氣體質(zhì)量流量控制器流量傳感器質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥

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