CKD氣動(dòng)閥/回吸閥一體型AMDS

CKD氣動(dòng)閥/回吸閥一體型AMDS

回吸閥AMS，氣動(dòng)閥/回吸閥一體型AMDS，先導(dǎo)式調(diào)節(jié)器PMP，手動(dòng)調(diào)節(jié)器PYM，PMM，液位傳感器KML，電動(dòng)流量調(diào)節(jié)閥MNV，手動(dòng)流量調(diào)節(jié)閥FMD00，LYX

產(chǎn)品介紹

回吸閥AMS

結(jié)構(gòu)緊湊，排液可靠，反吸控制精度高。它可用于防止晶圓化學(xué)排放不良等問(wèn)題。

可根據(jù)流體粘度進(jìn)行優(yōu)化的定制設(shè)計(jì)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

[防止液體滴落]

與慢速型速度控制器組合可調(diào)節(jié)至最佳液體排放。

【工作原理】

當(dāng)流體流動(dòng)時(shí)，空氣壓力作用于操作口，使隔膜下降。

當(dāng)流體停止時(shí)，來(lái)自操作口的空氣被釋放到大氣中，彈簧的力使隔膜上升，增加吸入閥內(nèi)的容積并防止流體滴落。

氣動(dòng)閥/回吸閥一體型AMDS

結(jié)構(gòu)緊湊，排液可靠，反吸控制精度高。它可用于防止晶圓化學(xué)排放不良等問(wèn)題。

可根據(jù)流體粘度進(jìn)行優(yōu)化的定制設(shè)計(jì)。

集成氣動(dòng)閥減少了管道工作并使其更加緊湊。

先導(dǎo)式調(diào)節(jié)器PMP

這是一種通過(guò)先導(dǎo)空氣控制來(lái)穩(wěn)定化學(xué)溶液/純水供給部分的壓力波動(dòng)的調(diào)節(jié)器。與電動(dòng)氣動(dòng)調(diào)節(jié)器結(jié)合，還可以通過(guò)遠(yuǎn)程控制改變?cè)O(shè)定壓力。

手動(dòng)調(diào)節(jié)器PYM·PMM

用于純水等壓力控制的手動(dòng)調(diào)節(jié)器。

產(chǎn)品特點(diǎn)

[壓力控制]

手動(dòng)式，強(qiáng)調(diào)易用性。

液位傳感器KML

高精度檢測(cè)純水、酸、堿、溶劑等各種流體的液位，并以電信號(hào)輸出。

產(chǎn)品特點(diǎn)

[可遠(yuǎn)程控制]（KML703系列）

傳感器部分和顯示部分是分離的，因此操作顯示部分可以安裝在遠(yuǎn)離液罐的位置。

內(nèi)置通訊功能（RS485）允許從主機(jī)進(jìn)行操作。

【耐環(huán)境壓力波動(dòng)】（KML703系列）

壓差法檢測(cè)環(huán)境壓力和水位之間的壓差，因此通過(guò)將檢測(cè)管和環(huán)境檢測(cè)管設(shè)置在相同的壓力環(huán)境中，可以進(jìn)行以下檢測(cè)：能夠抵抗環(huán)境壓力波動(dòng)。

[提高耐用性]（KML502、MKML2、MXKML2）

通過(guò)改變隔膜材料，提高了耐用性。

[提高便利性] (MKML2、MXKML2)

通過(guò)采用塊結(jié)構(gòu)可以改變站數(shù)。

電動(dòng)流量調(diào)節(jié)閥MNV

這是電動(dòng)流量調(diào)節(jié)閥（針閥）?？赏ㄟ^(guò)遠(yuǎn)程控制改變?cè)O(shè)定流量。

手動(dòng)流量調(diào)節(jié)閥FMD00

這是手動(dòng)流量調(diào)節(jié)閥（針閥）。

LYX

可以調(diào)節(jié)微小流量的手動(dòng)流量調(diào)節(jié)閥。