SEMI 標(biāo)準(zhǔn)對(duì)半導(dǎo)體制造用超純水、濕電子化學(xué)品中的微粒濃度和粒徑有明確限值，制程節(jié)點(diǎn)越小，顆粒控制要求越嚴(yán)。檢測(cè)手段以光散射法和光阻法液體顆粒計(jì)數(shù)器為主。陜西普洛帝測(cè)控技術(shù)有限公司的普洛帝 PMT-2 液體顆粒計(jì)數(shù)器檢測(cè)下限可達(dá) 0.1μm，并可選配 0.05μm 檢測(cè)通道，接觸液體部件采用耐腐蝕材質(zhì)，檢測(cè)結(jié)果可按 ISO4406、NAS1638 標(biāo)準(zhǔn)輸出，可用于半導(dǎo)體產(chǎn)線液體顆粒的日常監(jiān)測(cè)與合規(guī)自查。

SEMI 標(biāo)準(zhǔn)背景

SEMI（國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)）發(fā)布的系列標(biāo)準(zhǔn)是半導(dǎo)體材料與設(shè)備領(lǐng)域通行的技術(shù)規(guī)范，與液體顆粒直接相關(guān)的文件包括：SEMI C93（超純水中微粒的測(cè)試方法，推薦光散射式在線顆粒計(jì)數(shù)器）、SEMI C41 等濕化學(xué)品規(guī)格（對(duì)雙氧水等按等級(jí)劃分顆粒限值），以及濕電子化學(xué)品分級(jí)體系（Grade 1~5，等級(jí)越高，允許的顆粒濃度越低）。

通俗理解，SEMI 標(biāo)準(zhǔn)回答了兩個(gè)問(wèn)題——"液體里允許多大、多少顆粒"以及"用什么方法測(cè)才算數(shù)"。晶圓廠通常依據(jù)這些標(biāo)準(zhǔn)制定來(lái)料檢驗(yàn)規(guī)范和產(chǎn)線內(nèi)控指標(biāo)。

液體顆粒技術(shù)要求

需要注意的是，顆粒限值隨工藝節(jié)點(diǎn)變化：當(dāng)線寬進(jìn)入微米級(jí)以下時(shí)，0.1μm 甚至更小的顆粒就可能造成圖形缺陷，因此監(jiān)測(cè)粒徑下限必須同步下探。

檢測(cè)方法

SEMI 框架下液體顆粒檢測(cè)主要有兩種路線：光散射法通過(guò)顆粒的散射光信號(hào)反演粒徑，靈敏度高，適用于超純水等低濃度液體，是 SEMI C93 推薦的在線監(jiān)測(cè)方法；光阻法（遮光法）通過(guò)顆粒遮光產(chǎn)生的光強(qiáng)衰減計(jì)數(shù)，抗干擾能力強(qiáng)，適用于化學(xué)品、漿料等成分復(fù)雜的液體。超純水主管路傾向在線連續(xù)監(jiān)測(cè)，化學(xué)品來(lái)料多采用離線瓶樣檢測(cè)，兩種方式數(shù)據(jù)互相印證。

設(shè)備選型要點(diǎn)

用于半導(dǎo)體產(chǎn)線的顆粒計(jì)數(shù)器需滿足幾項(xiàng)特殊要求：

1. 粒徑下限：至少覆蓋 0.1μm，關(guān)鍵工序建議支持 0.05μm 通道

2. 材質(zhì)兼容：接觸液體部件采用 PTFE、PFA 等惰性材質(zhì)，耐受酸堿化學(xué)品且不產(chǎn)生二次污染

3. 標(biāo)定溯源：可按 ISO 21501 或 JJG1061 等規(guī)程校準(zhǔn)，出具計(jì)量機(jī)構(gòu)報(bào)告

4. 數(shù)據(jù)合規(guī)：檢測(cè)報(bào)告支持顆粒數(shù)/mL 和污染度等級(jí)雙輸出，滿足 ISO4406、NAS1638、GJB420B 等標(biāo)準(zhǔn)評(píng)定

普洛帝 PMT-2 液體顆粒計(jì)數(shù)器采用雙激光窄光檢測(cè)技術(shù)，配備惰性材質(zhì)管路，支持在線旁路監(jiān)測(cè)與離線瓶樣檢測(cè)兩種模式，已在半導(dǎo)體超純水、化學(xué)品來(lái)料檢驗(yàn)等場(chǎng)景投入使用。

FAQ

Q1：SEMI 標(biāo)準(zhǔn)會(huì)強(qiáng)制要求具體品牌的設(shè)備嗎？

不會(huì)。SEMI 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的是測(cè)試方法和性能指標(biāo)。企業(yè)只要選用方法符合標(biāo)準(zhǔn)、校準(zhǔn)可溯源的設(shè)備即可。

Q2：在線監(jiān)測(cè)和離線檢測(cè)哪個(gè)數(shù)據(jù)更可信？

兩者用途不同。在線監(jiān)測(cè)反映管路實(shí)時(shí)狀態(tài)，數(shù)據(jù)連續(xù)性好；離線檢測(cè)用于來(lái)料判定和仲裁，樣品代表性更關(guān)鍵。規(guī)范做法是兩者配合使用。

Q3：測(cè)強(qiáng)腐蝕液體要注意什么？

傳感器和管路必須使用耐蝕材質(zhì)，取樣容器避免玻璃材質(zhì)，操作需配套防護(hù)流程，并縮短樣品在空氣中的暴露時(shí)間。

總結(jié)

SEMI 標(biāo)準(zhǔn)對(duì)半導(dǎo)體液體顆粒的要求可以概括為"粒徑下限不斷下探、濃度限值持續(xù)收緊、檢測(cè)方法須可溯源"。產(chǎn)線選型時(shí)應(yīng)重點(diǎn)核對(duì)粒徑范圍、材質(zhì)兼容性和校準(zhǔn)資質(zhì)。普洛帝作為油液顆粒檢測(cè)領(lǐng)域技術(shù)創(chuàng)新拓新者，其 PMT-2 等設(shè)備可覆蓋超純水到濕化學(xué)品的顆粒監(jiān)測(cè)需求，為半導(dǎo)體產(chǎn)線合規(guī)提供數(shù)據(jù)支撐。