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更新時(shí)間：2026-08-03 20:40:29瀏覽次數(shù)：265次
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ICP-MS分析特性●可快速同時(shí)檢測(cè)周期表上幾乎所有元素●的檢出限（低至ppq級(jí)）●分析效益/成本比●最寬的線性動(dòng)態(tài)范圍可直接檢測(cè)從ppq到數(shù)百ppm濃度●譜線、干擾最小
ICP-MS分析特性
● 可快速同時(shí)檢測(cè)周期表上幾乎所有元素
● 的檢出限（低至ppq級(jí)）
● 分析效益/成本比
● 最寬的線性動(dòng)態(tài)范圍—可直接檢測(cè)從ppq到數(shù)百ppm濃度
● 譜線、干擾最小，準(zhǔn)確度和精密度好
● 需要樣品量很低(ul至ml)，分析速度很快（1?3分鐘/樣品）
● 檢測(cè)模式靈活多樣
半導(dǎo)體工業(yè)常用材料中超痕量污染物分析
固體：Si;GaAa單晶切片；石英、碳化硅等爐材料；高純金屬電極等
液體：超純水；HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
氣體：SiH4;TE0S;NF3;N2等
Agilent ICP-MS技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域包括：
● 環(huán)境樣品分析，包括自來(lái)水、地表水、地下水、海水以及各種土壤、廢棄物等的分析；
● 半導(dǎo)體材料分析
● 玻璃、陶瓷和礦冶等樣品分析；
● 地質(zhì)學(xué)研究；
● 生物食品及醫(yī)藥臨床研究；
● 核材料分析
● 石油化工樣品分析；
● 法醫(yī)應(yīng)用與研究；
● 最近，與分離技術(shù)聯(lián)用進(jìn)行環(huán)境毒理、生命科學(xué)等領(lǐng)域的元素價(jià)態(tài)、形態(tài)分析成為ICP-MS技術(shù)應(yīng)用的一個(gè)焦點(diǎn)。
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