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更新時(shí)間：2023-01-14 07:52:10瀏覽次數(shù)：325次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 儀表網(wǎng)特殊的腔體設(shè)計(jì)和工藝設(shè)計(jì)，可以使得ALD技術(shù)應(yīng)用于工業(yè)量產(chǎn)，并且可以提高鍍膜效率
特殊的腔體設(shè)計(jì)和工藝設(shè)計(jì)，可以使得ALD技術(shù)應(yīng)用于工業(yè)量產(chǎn)，并且可以提高鍍膜效率。矽碁可根據(jù)用戶的需求定制設(shè)備。
技術(shù)參數(shù)：
1 不銹鋼腔體，雙層加熱設(shè)計(jì)；
2 等離子體增強(qiáng)模塊集成于腔體上蓋；
3 進(jìn)口高速ALD隔膜閥；
4 基片尺寸可以定制；
5 基片加熱400℃；
6 最多可提供6路前驅(qū)物和6路工藝氣體；
7 氣路全金屬密封，并可加熱至120℃；
8 可提供前驅(qū)體鋼瓶加熱或冷卻；
9 可全自動(dòng)控制工藝過程，同時(shí)也可以手動(dòng)操作。
10 量產(chǎn)型設(shè)計(jì)，可以全自動(dòng)化
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