開啟式管式爐PECVD系統(tǒng)由高溫管式爐,真空壓強(qiáng)控制系統(tǒng),多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng),過壓保護(hù)及冷凝等部分組成,可實(shí)現(xiàn)真空達(dá)0.1mbar混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴(kuò)散試驗(yàn)。

詳細(xì)介紹

功能特點(diǎn)：
在真空壓力下，加在電感線圈的射頻電場，使反應(yīng)室氣體發(fā)生輝光放電，在輝光發(fā)電區(qū)域產(chǎn)生大量的電子。這些電子在電場的作用下獲得充足的能量，其本身溫度很高，它與氣體分子相碰撞，使氣體分子活化。它們吸附在襯底上，并發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成介質(zhì)膜，副產(chǎn)物從襯底上解吸，隨主氣流由真空泵抽走，稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉(PECVD)
產(chǎn)品用途：
PECVD開啟式管式爐系統(tǒng)由開啟式管式爐、高真空分子泵系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成，是實(shí)驗(yàn)室生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等的理想選擇。
適用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備，生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等，也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用
產(chǎn)品參數(shù)

控溫方式：采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，并可編制30段升降溫程序。
加熱元件：0Cr27Al7Mo2
工作電源：AC220V 50Hz/60Hz
額定功率：4kw
爐管材質(zhì)：高純石英管
爐管尺寸：Φ60/Φ80*1200mm
工作溫度：≤1150℃(可定制)
溫度：1200℃(可定制)
恒溫精度：±1℃
恒溫區(qū)：200mm(可定制)
升溫速度：≤10℃/min
密封方式：不銹鋼快速法蘭擠壓密封
極限真空：6.0×10-5Pa
工作真空：7.6×10-4Pa
產(chǎn)品配置：雙級旋片真空泵+分子泵
測量方式：復(fù)合真空計(jì)
真空規(guī)管：電阻規(guī)+電離規(guī)
冷卻方式：風(fēng)冷
抽速：110L/S
射頻電源系統(tǒng)
射頻功率輸出范圍：5~500W
射頻頻率：13.56MHz±0.005%
噪聲：≤55DB
冷卻方式：風(fēng)冷
功率溫定度：± 0.1%
混氣系統(tǒng)流量規(guī)格：0－200sccm （可根據(jù)客戶需要配置）
線性：±1.5%F.S
準(zhǔn)確度：±1.5%F.S
重復(fù)精度：±0.2%F.S.
響應(yīng)時間：≤8sec
耐壓：3MPa
氣路通道：4通道（根據(jù)客戶需求）
針閥：316不銹鋼
管道：Φ6mm不銹鋼管
接口：SwagelokΦ6mm

關(guān)鍵詞：真空泵控制系統(tǒng) 科研院

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