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氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)

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星堯（天津）自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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詳細(xì)介紹

氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，以下簡(jiǎn)稱MFC）可對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制；氣體質(zhì)量流量計(jì)（Mass Flow Meter，以下簡(jiǎn)稱MFM）可對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。本產(chǎn)品應(yīng)用的行業(yè)主要有：化學(xué)工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導(dǎo)體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產(chǎn)品的設(shè)備主要有：真空鍍膜設(shè)備、混氣配氣設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、晶體制備設(shè)備、微電子設(shè)備、微反應(yīng)裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。

特點(diǎn)：

★ 穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時(shí)間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高

★安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡(jiǎn)單

★可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器（AD/DA轉(zhuǎn)換器）配合計(jì)算機(jī)使用

技術(shù)參數(shù)：

基本型號(hào)	C51 氣體質(zhì)量流量控制器	C51M 氣體質(zhì)量流量計(jì)
流量規(guī)格1(N2標(biāo)定)	0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
	0～1,2,3,5,10,20,30 SLM
調(diào)節(jié)閥類型	常閉式	無
量程比	(2～100)％F.S. 或50:1
流量分辨率	0.1％F.S.
準(zhǔn)確度	±1％F.S. (≤15SLM)
	±2％F.S. (＞15SLM)
線性	±0.5％F.S. (≤15SLM)
	±2％F.S. (＞15SLM)
重復(fù)精度	±0.2％F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤1sec	≤1sec
工作壓差范圍	0.1～0.5MPa (≤10SLM)	0.02MPa～3MPa
	0.1～0.3MPa (＞10SLM)
耐壓	3MPa
工作環(huán)境溫度	5～45℃
電纜接頭	DB15pin(針形)
輸入輸出信號(hào)	4～20mA或0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)	4～20mA或0～+5.00V (無輸入信號(hào)，輸出電流不大于3mA)
供電電源要求	+24VDC(≥300mA)	+24VDC(≥150mA)
對(duì)外單點(diǎn)泄漏率	≤1×10^-9Pa·m³/S(He)
介質(zhì)接觸材質(zhì)	316，316L，密封填料
密封材料	丁腈橡膠NBR，三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ, 氟橡膠FKM，全氟橡膠FFKM，聚四氟乙烯PTFE
管道接頭尺寸	VCR型接頭：1/4"
	雙卡套型接頭：1/8"、1/4"、3/8"或φ3、φ6、φ8、φ10 mm
外形尺寸	長(zhǎng)×寬×高：127×30×122 mm
凈重量	0.9kg	0.75kg