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淺談微型傳感器的特點(diǎn)及應(yīng)用!

閱讀:281發(fā)布時間:2023-8-16

近年來,從半導(dǎo)體集成電路開始,(IC)微機(jī)電系統(tǒng)是由技術(shù)發(fā)展而來的(microelectromechnicalsystem,MEMS)技術(shù)越來越成熟。微型傳感器是目前較成功、較實(shí)用的微機(jī)電器件,主要包括微型壓力傳感器和微型加速度傳感器;此外,還有微溫度傳感器、磁場傳感器、氣體傳感器等,大部分面積為1mm2.以下。隨著微電子加工技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,特別是納米加工技術(shù),傳感器技術(shù)也將從微型傳感器發(fā)展到納米傳感器。這些微型傳感器體積小,可實(shí)現(xiàn)許多新功能,便于大規(guī)模、高精度生產(chǎn),單件成本低,易于形成大規(guī)模、多功能陣列,非常適合汽車應(yīng)用。


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