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閱讀：345發(fā)布時間：2023-8-15
MEMS0600系列氣體質(zhì)量流量計
MEMS0600系列gas 質(zhì)量流量計(質(zhì)量流量計)用于精確的氣體流量測量，是實現(xiàn)本地和遠程監(jiān)控的智能儀表。由于測量基本不受壓力和溫度的影響，具有精度高、重復性好、量程比寬、抗干擾等特點。MEMS0600系列智能流量計按照國家標準的要求制造，具有良好的兼容性和互換性。
MEMS0600系列智能質(zhì)量流量計具有數(shù)據(jù)處理、記錄、顯示等相關功能。，并能實現(xiàn)NB-IOT的遠程傳輸功能。安裝方便，維護簡單。
MEMS0600系列智能質(zhì)量流量計主要應用于醫(yī)院集中供氣系統(tǒng)及氧氣流量的夾層監(jiān)控、藥房、實驗室微反應裝置、氣體混合及氣體分配系統(tǒng)、毛細管測量氣象色譜儀、半導體生產(chǎn)過程、光纖制造過程；以及石油化工、冶金、焊接等過程控制。
構圖原理
MEMS0600系列智能質(zhì)量流量計由三個主要部件組成:傳感器、機身和信號處理單元。
微機電芯片(MEMS)是由CMOS半導體技術制成的。根據(jù)熱擴散原理的設計，在芯片中心設置加熱器，在加熱器的上游和下游分別設置熱電堆，熱電堆配有底座溫度計。加熱器和熱電堆陣列的底部設有空腔，可以高效地檢測加熱器的熱量和附近溫度場的變化。加熱元件通入恒定電流后，在附近區(qū)域形成相應的溫度場。
介質(zhì)的流動會使溫度場重新分布，因為溫度場分布的變化與流體質(zhì)量流量有一定的函數(shù)關系，所以通過精確測量溫度場可以反算出流體質(zhì)量流量。MEMS0600系列智能質(zhì)量流量計傳感器通過熱擴散原理直接測量質(zhì)量流量，因此基本不需要壓力和溫度補償，通過使用芯片將熱擴散原理的應用范圍縮小到微米級。因此，用這種傳感器制造的質(zhì)量流量計具有精度高、量程寬、靈敏度高、測量準確的特點。
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